組成を変化させた極薄窒化Si膜の製膜
第71回応用物理学会春季学術講演会（東京都市大学）, 2024

FLAによる非結晶シリコン膜のシリコン基板へのエピタキシャル成長
第71回応用物理学会春季学術講演会（東京都市大学）, 2024

ペロブスカイトの成膜におけるSi表面に形成されたテクスチャ形状の影響
第71回応用物理学会春季学術講演会（東京都市大学）, 2024

曲面追従させた封止材を用いない結晶Si太陽電池モジュールに対する加速試験の影響
第71回応用物理学会春季学術講演会（東京都市大学）, 2024

結晶Si太陽電池モジュールにおける電圧誘起劣化現象のLi元素による緩和効果
第71回応用物理学会春季学術講演会（東京都市大学）, 2024

封止材を用いない結晶シリコン太陽電池モジュールにおける高熱伝導粒子混合層による昇温抑止効果
第71回応用物理学会春季学術講演会（東京都市大学）, 2024

ベイズ最適化を適用したCat-CVD i-a-Siおよびn-a-Siの堆積条件探索
第14回半導体・デバイスフォーラム（SMDF2023）（九州工業大学）, 2023

3種類の回帰モデルを駆使したベイズ最適化によるCat-CVD i-a-Siの堆積条件検討
第52回結晶成長国内会議（JCCG-52）（ウィンクあいち）, 2023

太陽電池モジュールの劣化機構と新概念構造の開発
応用物理学会 応用電子物性分科会 研究例会「太陽電池モジュールの基礎と将来展開」（オンライン）, 2023

Effectiveness of Al-induced charged oxide inversion layer on pyramidal textured Si surfaces
The 34th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-34)(Shenzhen World Exhibition & Convention Center), 2023

Effect of cover glass morphology on the potential-induced degradation of n-type front-emitter crystalline silicon photovoltaic modules
The 34th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-34)(Shenzhen World Exhibition & Convention Center), 2023

Surface passivation of polycrystalline Si films formed by FLA to Cat-CVD hydrogenated n-a-Si films for solar cell applications
The 34th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-34)(Shenzhen World Exhibition & Convention Center), 2023

Influence of rotational speed and glass bead amount during etching by MPAT on Si texture size
The 34th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-34)(Shenzhen World Exhibition & Convention Center), 2023

Improvement in the passivation quality of Cat-CVD i-a-Si by applying Bayesian optimization
The 34th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-34)(Shenzhen World Exhibition & Convention Center), 2023

Formation of thin films by Cat-CVD for photovoltaic application
2023年日本表面真空学会学術講演会（名古屋国際会議場）, 2023

様々な条件で堆積したCat-CVD SiNx及びSiOxNyの湿熱安定性
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

Cat-CVDで堆積した非晶質Si膜へのFLAにより形成した多結晶Si膜の低欠陥化
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

ベイズ最適化により得られたCat-CVD i-a-Siの高パッシベーション性能発現のメカニズム
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

MPATによりSiウェハ表面に形成したテクスチャへのペロブスカイト成膜
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

封止材を用いない新概念太陽電池モジュールに対する高温高湿／温度サイクル繰り返し試験の影響
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

高熱伝導性材料による結晶シリコン太陽電池モジュール動作時の昇温抑止効果（II）
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

マイクロテクスチャー上にペロブスカイト膜を堆積する技術の開発
第84回応用物理学会秋季学術講演会（熊本城ホールほか3会場）, 2023

Excellent surface passivation on a pyramidal textured Si surface by wet chemically grown Al-induced charged oxide inversion layer
40th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (Lisbon Congress Centre), 2023

結晶シリコン太陽電池モジュールの信頼性と新概念構造の開発
北陸未来共創フォーラム グリーンイノベーション分科会 グリーンエネルギーWG第１回講演会・交流会「未来を変える太陽光発電技術」, 2023

廃棄・リサイクルを見据えた結晶シリコン太陽電池モジュールの開発
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

Cat-CVD SiNxによる高温高湿試験でのペロブスカイト太陽電池の安定性の向上
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

フラッシュランプアニール法により形成した多結晶シリコン薄膜のパッシベーションとその太陽電池応用
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

硝酸アルミニウム酸化処理により形成したp+反転層のピラミッドテクスチャn型結晶Si表面での有効性
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

ベイズ最適化を適用したCat-CVD i-a-Siの堆積条件検討及び膜特性の評価
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

MPATでのエッチングにおける薬液の回転速度とガラスビーズ量がSiテクスチャに与える影響
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

シリコン太陽電池の表面形状に沿ったペロブスカイトの成膜方法の開発
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

高熱伝導材量を用いた結晶シリコン太陽電池モジュールの内部温度上昇抑制手法の開発
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

TiO2/SiOx膜によるモジュール表面への防汚機能付与に関する研究
第20回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム （第3回日本太陽光発電学会学術講演会）, 2023

高温高湿環境下でのCat-CVD SiNx薄膜の安定性
第20回Cat-CVD研究会（北九州国際会議場）, 2023

太陽電池応用を目指したCat-CVD n-a-Si:H薄膜のFLAによる結晶化とその表面パッシベーション
第20回Cat-CVD研究会（北九州国際会議場）, 2023

Cat-CVD SiNy/超極薄SiOx積層膜によるピラミッドテクスチャSi表面のパッシベーション
第20回Cat-CVD研究会（北九州国際会議場）, 2023

ベイズ最適化を適用したCat-CVD i-a-Siパッシベーション膜の特性評価
第20回Cat-CVD研究会（北九州国際会議場）, 2023

Long-term stability of Cat-CVD SiNx protection layer against damp-heat stress
9th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023), 2023

Enhancement of diffusion barrier effect of ultra-thin silicon nitride films against P in TNPCon by catalytically generated nitride species
9th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023), 2023

Delay of the potential-induced degradation of n-type crystalline silicon photovoltaic modules by the prior application of reverse bias
9th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2023), 2023

Tunnel nitride passivation contacts for crystalline silicon solar cells
11th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (11th HWCVD), 2023

Application of Cat-CVD SiNx as a protection layer for improving the stability of perovskite solar cells
11th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (11th HWCVD), 2023

The significant role of an ultrathin SiOx interlayer underneath a Cat-CVD SiNy passivation layer for the high-efficiency n-type crystalline Si solar cells
11th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (11th HWCVD), 2023

Cat-CVD SiNx保護層によるペロブスカイト太陽電池の安定性の向上
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

TNPCon試料のµ-PCDマッピングにおける異常パターンの出現
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

Cat-CVDで形成した積層非晶質Si膜でのFLAにより形成した多結晶Si表面のパッシベーション
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

超極薄AlドープSiOx膜により誘起した反転層のフロントエミッタ型n型結晶Si太陽電池への応用
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

異なる基板温度で堆積したCat-CVD SiNx膜を有するp型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

Cat-CVD法で形成した単層および積層ガスバリア膜のペロブスカイト層の保護効果
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

ベイズ最適化を適用したCat-CVD i-a-Siのパッシベーション性能の向上
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

MPATでのSiウェハ表面の異方性エッチングにおける薬液の回転速度によるテクスチャサイズの変化
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

封止材を用いない新概念太陽電池モジュールの接続法の違いによる信頼性検証
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

高熱伝導性材料による結晶シリコン太陽電池モジュール動作時の昇温抑止効果
第70回応用物理学会春季学術講演会（上智大学）, 2023

結晶シリコン太陽電池における分極型電圧誘起劣化のメカニズム
日本太陽光発電学会次世代太陽電池セル・モジュール分科会2022年度第3回、ペロブスカイト太陽電池分科会 2022年度第2回合同研究会 （東京工業大学）, 2023

Ultrathin Al-doped SiOx passivating hole-selective contacts formed by a simple wet process
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Second-stage potential-induced degradation of n-type front-emitter crystalline silicon photovoltaic modules and its recovery
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Simple back-contact silicon heterojunction solar cells using polycrystalline silicon formed by FLA on Cat-CVD a-Si:H films
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Potential-induced degradation of encapsulant-less p-type crystalline Si photovoltaic modules
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Passivating contacts based on directly-nitridated ultra-thin silicon nitride films
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Potential-Induced Degradation of p-type Crystalline Si Cell Modules with a SiNx Film Formed by Cat-CVD
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Effect of SiNx gas barrier films on the protection of perovskite layers
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Cat-CVD SiNx for film encapsulation of mixed cation-halide CsFAMAPbIBr perovskite cell structures
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Novel concept of crystalline Si photovoltaic modules without encapsulation and their hygrothermal and thermal-cycle tolerance
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

Study on the Inhibition of Temperature Rise by Thermal Conducting Nanoparticles Mixed SiOx Film in Crystalline Silicon Solar Cell Module without Encapsulant Layer
33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33), 2022

直接窒化の極薄窒化Siを用いたパッシベーションコンタクトの最適化
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

異なる基板温度で堆積したCat-CVD SiNx膜のファイヤースルー前後の膜特性評価
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

n型結晶Si太陽電池モジュール電圧誘起劣化への高レベル事前逆バイアス印加の影響
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

Cat-CVD水素化n-a-Si膜へのFLAにより形成した多結晶Siの表面パッシベーションと低欠陥化
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

封止材無しp型結晶Si太陽電池モジュールの高温高湿環境での電圧誘起劣化
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

硝酸アルミニウム水溶液への浸漬処理により形成したAlドープ超極薄SiOxのSi表面のパッシベーション機構
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

Cat-CVD SiNxガスバリア膜によるペロブスカイト層の保護効果
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

Degradation Evaluation of CsFAMAPbIBr/Carrier Transport Layer Stacks Capped by a Cat-CVD SiNx Thin Film by µ-PCD Measurement
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

変位電流測定法を用いた有機蒸着薄膜中のイオン性不純物検出
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

封止材を用いない結晶シリコン太陽電池モジュールに対するシングリング接続セルの適用
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

熱伝導性フィラーMgO による結晶シリコン太陽電池モジュール動作時の昇温抑止効果
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

封止材を用いない結晶シリコン太陽電池モジュールの動作時におけるMgO/SiOx, C/SiOx膜による昇温抑止効果
第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022

Ion Impurity Measurements in Organic Thin Films on High Voltage Application
22nd International Meeting on Information Display (IMID 2022), 2022

Formation of polycrystalline silicon films on glass substrates by flash lamp annealing of amorphous silicon films
The 29th international conference on amorphous and nanocrystalline semiconductors (ICANS 29), 2022

Cat-CVD直接窒化法による極薄窒化Si膜を用いたパッシベーションコンタクト
第19回Cat-CVD研究会, 2022

Cat-CVD水素化a-Si膜へのフラッシュランプアニールで形成したpoly-Si膜を用いたテストセルの作製
第19回Cat-CVD研究会, 2022

Alドープ超極薄SiOx膜上へのCat-CVDの有効性
第19回Cat-CVD研究会, 2022

ペロブスカイト層へのCat-CVDでのSiNx堆積における堆積時間の影響
第19回Cat-CVD研究会, 2022

Cat-CVDで異なる基板温度で製膜したSiNx膜のファイヤースルーによる水素含有量の変化
第19回Cat-CVD研究会, 2022

原子状水素処理を用いたスパッタHf-Zr-O膜の強誘電特性改善
第19回Cat-CVD研究会, 2022

Hygrothermal-stress induced degradation for novel concept crystalline silicon photovoltaic modules without encapsulants
Global Photovoltaic Conference 2022 (GPVC 2022), 2022

結晶シリコン太陽電池の動作原理と評価法
The 29th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD’22), 2022

封止材無しp型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるセルとガラスの接触の影響
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

直接窒化法による極薄窒化Siを用いたパッシベーションコンタクト形成
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

Cat-CVD a-Si:H膜へのFLAによるpoly-Siの形成と簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池への応用
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

超極薄AlドープSiOx膜におけるSi表面パッシベーションの面方位依存性
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

Cat-CVD SiNxによる空気環境下でのペロブスカイト膜の安定性の向上
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

Cu2GeS3薄膜に対するNaの影響と太陽電池応用
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

高温高湿／温度サイクル交互試験が封止材を用いない結晶Si太陽電池モジュールに与える影響
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

封止材を用いない結晶シリコン太陽電池モジュールにおける熱伝導材混合 SiOx膜に放熱機能付与
第19回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム/第2回日本太陽光発電学会学術講演会, 2022

Carrier selective contacts using ultra-thin oxide and nitride films for crystalline silicon solar cells
The 8th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2022

Two-terminal perovskite/silicon heterojunction tandem solar cells
The 8th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2022

Effect of double-layer antireflection coating on photon current density of two-terminal perovskite/silicon tandem cells
The 8th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2022

ファイヤースルーによるCat-CVD SiNx膜の特性変化
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

直接窒化した極薄窒化Siによるパッシベーションコンタクト形成
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

湿式法により形成したAlドープ超極薄SiOxでのSi表面のパッシベーション
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

新概念結晶シリコン太陽電池モジュールの動作時におけるMgO/SiOx膜による昇温抑止効果
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

封止材を用いない結晶Si太陽電池モジュールに対する高温高湿／温度サイクル交互試験の影響
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールのNa侵入型電圧誘起劣化とその回復
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

封止材無しp型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

Contact resistance between PH3 plasma-ion-implanted p-type amorphous silicon and ITO at various flash lamp annealing conditions
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

Cat-CVD SiNx膜を表面に有するp型結晶Si太陽電池セルモジュールの電圧誘起劣化
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

i-a-Si中間層を有するペロブスカイト太陽電池の作製
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

pin及びnipペロブスカイトセル構造へのCat-CVD SiNxガスバリア膜堆積
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

ペロブスカイト層へのSiNx堆積時の水素流量の影響
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

ペロブスカイト／結晶シリコンタンデム太陽電池の研究動向と最近の進展
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

Cat-CVD水素化n-a-Si膜へのFLAにより形成した多結晶Si膜を用いた簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池の作製
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

原子状水素処理による液相結晶化シリコン膜の低欠陥化
第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022

Cat-CVD SiNx/超極薄SiOx積層膜のパッシベーションメカニズム
応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2021

Enhancement of ferroelectricity in sputtered hafnium-zirconium oxide thin films by catalytically generated atomic hydrogen treatment
2021 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2021

ペロブスカイト太陽電池用キャリア輸送層のための非結晶Si作製条件の最適化
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

ペロブスカイト太陽電池のガスバリア層としてのCat-CVD SiNx
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

シミュレーションによるペロブスカイト太陽電池用Si系キャリア輸送層の探索
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

差動マイクロPCD法によるペロブスカイト膜のキャリア寿命測定
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

Silicon heterojunction solar cells with flash lamp annealed counter-doped n-a-Si film
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

Cat-CVD窒化Si膜を堆積した結晶Siセル表面でのファイヤースルーによるAg電極のコンタクト形成
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

Cat-CVD SiNx/NAOS-SiOx積層膜によるSi表面のパッシベーション
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

フラッシュランプアニールで形成した多結晶シリコン膜の低欠陥化
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

凹凸ガラス基板上に作製したCat-CVD n-a-Si:H薄膜のFLAによる結晶化
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

事前逆バイアス印加によるフロントエミッター型n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化の遅延
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

Cat-CVD装置によるTOPConとTNPCon構造の水素化処理
第18回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2021

非結晶Siをペロブスカイト太陽電池のキャリア輸送層に用いるための最適流量比の検討
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜の欠陥アニール
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

Mechanism of crystallization of Cat-CVD hydrogenated n-a-Si films on textured glass substrates by FLA
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

ペロブスカイト層への触媒化学気相堆積法でのSiNxガスバリア膜堆積
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

ドープa-Siをキャリア輸送層とするペロブスカイト太陽電池のシミュレーション
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

Cat-CVDでSiNxを堆積した結晶Siセル表面でのファイヤースルーによるコンタクト形成
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

Cat-CVD装置によるパッシベーションコンタクト構造の水素化処理
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

触媒化学気相堆積法と硝酸酸化法によって形成したSiNx/SiOx積層膜でのSi表面のパッシベーション
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

Silicon heterojunction solar cells with flash lamp annealing on a counter-doped n-a-Si film
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

n型結晶Si太陽電池モジュールのNa起因の電圧誘起劣化への事前逆バイアス印加の影響
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化–セル表面構造の影響–
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

n-PERTセルのSiNx膜の組成およびSiO2膜の膜厚が分極型PID挙動に与える影響
第82回応用物理学会秋季学術講演会, 2021

Silicon heterojunction solar cells with a counter-doped n-a-Si film treated by flash lamp annealing
2021 International Conference on Solid State Devices and Materials, 2021

Effect of temperature and pre-annealing on the potential-induced degradation of silicon heterojunction photovoltaic modules
2021 International Conference on Solid State Devices and Materials, 2021

Hydrogenation on tunnel nitride passivated contacts by catalytically generated atomic hydrogen
2021 International Conference on Solid State Devices and Materials, 2021

微結晶Siを電子輸送層に用いたペロブスカイト太陽電池の作製
第18回Cat-CVD研究会, 2021

フラッシュランプアニールで形成した多結晶シリコン膜の追加熱処理による低欠陥化
第18回Cat-CVD研究会, 2021

Cat-CVDによって堆積したSiNx上でのAg電極のコンタクト形成
第18回Cat-CVD研究会, 2021

Silicon Heterojunction Solar Cells with a Counter-Doped n-a-Si Film Treated by Flash Lamp Annealing
第18回Cat-CVD研究会, 2021

Cat-CVD SiNx/Si(100)界面に形成した極薄酸化シリコン膜による表面パッシベーションへの影響
第18回Cat-CVD研究会, 2021

水素化Cat-CVD n-a-Si膜へのFLAによるテクスチャ化ガラス上へのn-poly-Si薄膜の形成
第18回Cat-CVD研究会, 2021

Cat-Hによる結晶Si表面のパッシベーション性能の改善
第18回Cat-CVD研究会, 2021

Crystallization of catalytic CVD hydrogenated n-type amorphous silicon films on textured glass substrates by flash lamp annealing
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021), 2021

Influence of light irradiation on the charge-accumulation-type potential-induced degradation of n-type front-emitter crystalline silicon photovoltaic modules
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021), 2021

Use of n-type amorphous Si films for the electron transport layer of perovskite solar cells
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021), 2021

凹凸基板上に作製したCat-CVD水素化n-a-Si膜のFLAによる結晶化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

Cat-CVD装置を用いたTNPCon構造の水素化処理
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

Recovery of PH3 plasma-ion-implantation-induced damages in p-type amorphous silicon by flash lamp annealing
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

Cat-CVDで堆積した単層および積層非晶質Si膜を有するSHJ太陽電池の発電特性
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

Cat-CVDによって堆積したSiNxのファイヤースルーによる物性の変化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における事前逆バイアス印加の影響
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化試験時のリーク電流の変化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

Siヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化への事前アニーリングの影響
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜のCat-CVD装置を用いた原子状水素処理による低欠陥化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

MAPbI3へのn型非晶質Si堆積時の原料ガスの影響
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

ホール輸送層にp型a-Siを用いたトンネル接合を有するペロブスカイト太陽電池のダイオード特性
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

高機能材料を用いた封止材無しn型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021

封止材無しn型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2020

Improvement of passivation quality of PH3 plasma ion implanted p-type amorphous silicon by flash lamp annealing
応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2020

Effect of light irradiation on the PID of n-type front-emitter crystalline Si photovoltaic modules with SiNx with different refractive indexes
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Formation of poly-Si films on textured glass substrates by the flash lamp annealing of hydrogenated amorphous Si films
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Passivation of crystalline Si surfaces by stacked amorphous Si films formed by Cat-CVD
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Effect of temperature on the potential-induced degradation of silicon heterojunction photovoltaic modules
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Perovskite solar cell using n-type amorphous Si as an electron transport layer
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Cat-CVD tunneling nitride passivated contact for crystalline silicon solar cells
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Passivation properties of a-Si after plasma ion implantion through a hard mask
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020

Potential-induced degradation of silicon heterojunction photovoltaic modules
3rd International Workshop on Silicon Heterojunction Solar Cells: Science and Industry Technology,, 2020

n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電荷蓄積型電圧誘起劣化における光照射の効果
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

温度がSiヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に及ぼす影響
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

裏面電極型結晶Si太陽電池モジュールの負バイアス下での電圧誘起劣化
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

極薄Cat-CVD窒化Siによる太陽電池の裏面パッシベーションコンタクト
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

Cat-CVDで堆積したi-a-Si積層膜での結晶Si表面のパッシベーション
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

ハードマスクを通したイオン注入により形成されたp-nパターンのパッシベーション品質の評価
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

FLAによるテクスチャ基板上に堆積したCat-CVD水素化a-Si膜の結晶化
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

n型非結晶Siを電子輸送層に用いたペロブスカイト太陽電池
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020

Influence of light illumination on the potential-induced degradation of n-type interdigitated back-contact crystalline Si photovoltaic modules
2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020), 2020

Tunnel nitride passivated contacts for silicon solar cells formed by Cat-CVD
2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020), 2020

Cat-CVDにおける輻射熱と水素ラジカルのMAPbI3への影響
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

水素化a-SiへのFLAによるテクスチャ化ガラス上へのpoly-Si薄膜
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

SiNx膜の屈折率が異なるn型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における光照射の効果
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

光照射および温度がSiヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に及ぼす影響
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

ハードマスクを通したイオン注入によるa-Siへのp-nパターンの形成—パッシベーション性能の評価
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

Cat-CVDで形成した積層非晶質Si膜での結晶Si表面のパッシベーション
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

Cat-CVD法によるTOPCon太陽電池の裏面構造の形成
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020

Siヘテロ接合裏面電極型太陽電池製造の簡略化のためのCat-CVD p型a-Siへのカウンタドープ
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

Cat-CVD極薄窒化Siによる裏面パッシベーションコンタクト
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

テクスチャガラス基板上でのCat-CVD a-Si膜のFLAによる結晶化
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

キャリア輸送層応用を目指したMAPbI3へのCat-CVD a-Si堆積
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

Cat-CVD i-a-Si積層膜での結晶Si表面のパッシベーション
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

活性種とポリマーとの反応について
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

He/O2混合ガスを用いたOラジカルによるレジストの分解特性の評価
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020

高性能Si太陽電池モジュールで観測される電圧誘起劣化
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

バックコンタクト型結晶Si太陽電池モジュールのPIDにおける光照射の影響
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

Cat-CVDによるMAPbI3上へのドープSi膜の堆積
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

低触媒体温度でのNH3系ラジカル処理によるSiNx膜のパッシベーション性能への影響
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

水素処理によるCat-CVD極薄窒化Si膜のパッシベーション性能の改善
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

n型フロントエミッタ型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるSiNx膜の影響
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

SiO2膜の無いn型フロントエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における光照射の効果
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

電子線蒸着a-Si膜へのフラッシュランプアニールで形成したpoly-Si膜を用いたテストセルの作製
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

Catカウンタードーピングによるp-a-Siの形成
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

カウンタドープn-a-Si層を用いたシリコンヘテロ接合太陽電池の性能
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

Cat-CVD i-a-Si/i-a-Si積層膜での結晶Si表面のパッシベーション
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

シリコン基板を用いた簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池の作製
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

Siヘテロ接合太陽電池モジュールの光照射下での電圧誘起劣化
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020

n型フロントエミッター型結晶Si太陽電池モジュールのPIDにおけるSiO2膜の影響
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019

n型フロントエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの長時間PIDにおけるNaの挙動
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019

n型フロントエミッタ結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化挙動に関する屋内および屋外試験結果の比較
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019

n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールのPIDにおける光照射の影響
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019

結晶Si太陽電池の製造技術開発
応用物理学会 北陸・信越支部 支部講演会, 2019

Cat-CVD a-Si膜のパッシベーション性能の基板面積依存症
応用物理学会 北陸・信越支部 支部講演会, 2019

酸化膜無ｎ型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における光照射の効果
応用物理学会 北陸・信越支部 支部講演会, 2019

Sub-20 Nm thick ferroelectric Hf-Zr-O flims fabricated by solution process for ferroelectric-gate TFT applications
薄膜材料デバイス研究会 第16回研究集会「新時代に向けた薄膜材料のデバイス技術」, 2019

Comparison between indoor and outdoor test results on potential-induced degradation behavior for n-type front-emitter crystalline Si photovoltaic modules
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Effect of boron concentration on counter-doping of boron doped amorphous silicon by PH3 plasma ion implantation
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Influence of light illumination on the potential-induced degradation of n-type rear-emitter crystalline Si photovoltaic modules
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Influence of NH3-related radicals generated in a Cat-CVD apparatus on the passivation quality of SiNx films
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Crystallization of electron-beam-evaporated amorphous Si films on textured glass substrates by FLA
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Fabrication of SHJ solar cells with p-type a-Si films formed from n-a-Si by B Cat-doping
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Potential-induced degradation and recovery behaviors of photovoltaic modules with n-type front-emitter crystalline Si cells without SiO2
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Tunneling conductivity of ultra-thin SiNx films for TOPCon-like solar cells formed by Cat-CVD
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

Systematic study on potential-induced degradation of n-type crystalline Si photovoltaic modules
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019

n型リアエミッター型c-Si PVモジュールのPIDにおける光照射の影響
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

高効率結晶Si太陽電池のためのプロセス技術開発
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの正バイアスPID試験と回復試験
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

リアエミッタおよびフロントエミッタ構造を有するSHJ太陽電池のPID挙動の比較
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

Effect of annealing temperatures on surface passivation quality of Cat-CVD p-a-Si on c-Si
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

Microparticle-Assisted Texturing (MPAT) Process: Almost One Order Cost-Reduction, and Toward Mass Production of Low-Cost and High-Performance Crystalline-Silicon Solar Cells
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

テクスチャガラス基板上に作製した電子線蒸着非晶質Si膜のFLAにおける結晶化機構
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

Cat-CVD法のNH3系ラジカル処理によるSiNx膜のパッシベーション性能の変化
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

Cat-CVDで形成した極薄窒化Si膜のトンネル導電性
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

BのCatドーピングで形成したp型a-Siを用いたSHJ太陽電池の作製
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019

Potential-induced degradation of n-type front-emitter crystalline silicon photovoltaic modules with different degradation stages
36th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (36th EU PVSEC 2019), 2019

n型a-SiへのBのCatドーピングによるp型a-Si作製の試み
第16回 Cat-CVD研究会, 2019

Control of Solution Wettability on Textured c-Si Prior to Cat-CVD of SiNx/a-Si for Obtaining Extremely Low Surface Recombination Velocity of 0.6 cm/s
第16回 Cat-CVD研究会, 2019

Cat-CVDチャンバーでのNH3系ラジカルがSiNx膜のパッシベーション性能に及ぼす影響
第16回 Cat-CVD研究会, 2019

水素ラジカルを用いた KrF/ArF レジスト用ベース樹脂の除去度における酸素添加効果
第16回 Cat-CVD研究会, 2019

FLAによるテクスチャ基板上に堆積したEB蒸着Si膜の結晶化における亀裂抑制効果
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

n型a-SiへのBのCatドーピングによるp型a-Si作製の試み
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

Cat-CVD 窒化Si膜のパッシベーション性能の膜厚依存性
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

NH3系ラジカル処理のCat-CVD SiNx 膜のパッシベーション性能への影響
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの長時間PID試験での劣化挙動
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるSiO2膜の効果
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

リアエミッタおよびフロントエミッタ型SHJ太陽電池モジュールのPID挙動の比較
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019

Influence of hygrothermal stress on potential-induced degradation for homojunction and heterojunction crystalline Si photovoltaic modules
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019

Utilization of amorphous silicon films for carrier transport layers in MAPbI3 solar cells
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019

Effect of a SiO2 film on the potential-induced degradation of n-type front-emitter c-Si photovoltaic modules
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019

Thickness dependence of the passivation quality of Cat-CVD SiNx films
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019

Control of Texture Size on As-Cut Crystalline Silicon by Microparticle-Assisted Texturing (MPAT) Process
The 46th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2019

電荷輸送層に非晶質Si膜を用いたMAPbI3太陽電池
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

Operando SEM observation of corrosion process of Al foil
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

表面粗さを変化させたテクスチャガラス基板が電子線蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化機構に与える影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

シリコンヘテロ接合太陽電池のPIDに及ぼす湿熱負荷の影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化におけるSiO2膜の影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

n型結晶Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化におけるNaの挙動
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

Formation of fine-textured surface on as-cut crystalline silicon wafers by micro particle-assisted texturing(MPAT)
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

CIGS薄膜太陽電池セルのKF-PDTがPIDに与える影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

Spectroscopic study on boron-doped ultrananocrystalline diamond thin films synthesized by coaxial arc plasma: Toward the application to UV photodetector
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

BのCatドーピングによるn型a-Siの導電率の変化
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

触媒分解で生成したNH3系ラジカル処理がSiNx膜のパッシベーション性能に与える影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

Cat-CVD装置での窒化処理による極薄窒化Si膜の形成
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

フラッシュランプアニールを用いた微結晶Si薄膜の結晶化
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

Counter doping of boron doped a-Si by plasma ion implantation ―the dependence of passivation quality of counter-doped n-a-Si films on boron concentration―
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019

Hydrogenation effects on photoresponsivity in hetrojunction diodes comprising p-type ultrananocrystalline diamond films and n-Si substrates
平成30年度応用物理学会 九州支部 学術講演会, 2018

Cat-CVD SiNx膜のパッシベーション性能への膜厚の影響
平成30年度応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2018

フラッシュランプアニールによる微結晶Si薄膜の結晶化
平成30年度応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2018

n型フロントエミッター型太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるSiO2膜の効果
平成30年度応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2018

Extremely low surface recombination velocity of 0.6 cm/s obtained on textured crystalline silicon prepared by microparticle-assisted texturing (MPAT) process for solar cells
The 8th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2018

Formation of counter-doped n-a-Si films with good passivation quality by plasma ion implantation
The 7th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2018

n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に与える光照射の影響
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2018, 2018

n型結晶Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化とその回復
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2018, 2018

同時蒸着SnS薄膜太陽電池における光吸収層薄膜の硫化・エッチング処理の検討
薄膜材料デバイス研究会 第15回研究集会, 2018

電気二重層キャパシタ用電極応用に向けたカーボンナノウォールの親水性化に関する研究
薄膜材料デバイス研究会 第15回研究集会, 2018

Current and electric field analyses inside photovoltaic module during PID acceleration test
3rd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules (SAYURI-PV 2018), 2018

Effect of light illumination on potential-induced degradation in front-emitter n-type crystalline silicon photovoltaic modules
3rd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules (SAYURI-PV 2018), 2018

Performance degradation in front-emitter n-type crystalline silicon photovoltaic modules under long-duration potential-induced degradation tests
3rd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules (SAYURI-PV 2018), 2018

n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化 ― p 型との共通点と相違点 ―
日本学術振興会第175委員会 次世代シリコン太陽電池分科会第9回／モジュール・システム分科会第8回合同研究会, 2018

Passivation of crystalline silicon surfaces with ultra-thin silicon nitride films formed by catalytic chemical vapor deposition
35th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2018

n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に与える光照射の影響
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

共蒸着を用いたテクスチャSiへのペロブスカイト製膜
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

Controlling solution surface tension for the cleaning of small size textured Si surface to obtain extremely low surface recombination velocity of 0.6 cm/s
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

プラズマイオン注入による良好なパッシベーション品質を持つカウンタドープn-a-Si層の形成
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

Cat-CVD SiNx膜のパッシベーション性能の膜厚依存性
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

PID試験中の太陽電池モジュール内部の電流及び電界解析
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

テクスチャガラス基板が電子線蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化機構に与える影響
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018

Oxygen additive effects on decomposition rate of poly(vinyl phenol)-based polymers using hydrogen radicals produced by a tungsten hot-wire catalyst
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Influence of ITO sputtering on the performance of silicon heterojunction solar cells with Cat-CVD amorphous silicon films
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Passivation of crystalline silicon surfaces with a few μm-sized pyramids by Cat-CVD silicon nitride films
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Improvement in the passivation quality of Cat-CVD SiNx films on crystalline Si at room temperature
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Excellent passivation quality of MPAT crystalline silicon textures for solar cells by using proper chemical cleaning and Cat-CVD SiNx/a-Si stacked layers
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Annealing behavior of Cat-CVD p-type a-Si for c-Si surface passivation and its superiority over PECVD counterparts
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Conversion of conduction type of Cat-CVD p-type a-Si by ion implantation
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

A simplest Cat-CVD apparatus without direct substrate heating system
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018

Crystallization of electron-beam evaporated a-Si films on textured glass substrates by flash lamp annealing
2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018), 2018

Vacuum deposition of CsPbI3 layers on textured Si for perovskite/Si tandem solar cells
2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018), 2018

Potential-induced degradation in n-type crystalline silicon photovoltaic cell modules
28th Annual NREL Silicon Workshop, 2018

ペロブスカイト/Siタンデム太陽電池の光電流の向上のための低反射テクスチャSiウエハへのCsPbI3真空蒸着
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

PID試験における太陽電池裏面の導体有無によるモジュール内部の電界及び電流解析
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

n型リアエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールのPIDにおけるバックシート材料の影響
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

セルレベルのPID試験におけるチャンバー内の真空引きが劣化挙動に与える影響
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

n型c-Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化とその回復
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

テクスチャガラス基板上に堆積したEB蒸着非晶質Si膜のFLAによる結晶化
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

Extremely high passivation quality on textured crystalline silicon made by microparticle-assisted texturing process for solar cells
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

非質量分離型イオン注入によりp-a-Siをn-a-Siに変換したSiヘテロ接合太陽電池への熱処理効果
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

B Catドーピングを用いたSiヘテロ接合太陽電池の作製
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018

フラッシュランプアニールによる太陽電池用多結晶シリコン膜形成
第4回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム, 2018

Silicon Heterojunction Solar Cell with a p-type Amorphous Silicon Emitter Formed by Catalytic Impurity Doping
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018

Performance of silicon heterojunction solar cells with various metal-electrodes directly formed on a-Si films without insertion of TCO
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018

An excellent method to control texture size and reflectivity of crystalline silicon solar cells only by mixing glass micro-particles with an alkaline texturing solution
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018

Low Cost Fabrication of Back Contact Crystalline-Silicon Heterojunction Solar Cells with n-a-Si Layers Partially Converted from p-a-Si by Phosphine (PH3) Plasma Ion-Implantation
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018

セルレベルの電圧誘起劣化試験におけるチャンバー内の真空引きの影響
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

ペロブスカイト/Siタンデム型太陽電池に向けたテクスチャSi上へのCsPbI3層の真空蒸着
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化に対する起点部の膜厚の影響
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

テクスチャガラス基板上EB蒸着非晶質Si膜のFLAでの 結晶化における製膜時の基板温度の影響
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

B Cat-doped a-Si:H層をもつSiヘテロ接合太陽電池
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

a-Si上に金属を直接堆積したSiヘテロ接合太陽電池の検討(2)
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

Cat-CVDで形成した極薄SiNx膜のパッシベーション性能(2)
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

Cat-CVD SiNx膜での微細テクスチャ結晶Si表面パッシベーションの特性改善
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

n型c-Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化後の回復挙動
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

Plasma Ion Implantation: a Promising Method for Fabricating the Low Cost Interdigitated Back Contact Silicon Heterojunction Solar Cell
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

Texture Size Control by Adding Glass Micro-Particles into an Alkaline Solution Used for Crystalline Silicon Solar Cells
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018

Potential-induced degradation of n-type crystalline silicon photovoltaic modules
International Intercollegiate Workshop on Advanced Materials 2017, 2017

テクスチャガラス基板上での電子線蒸着非晶質Si膜のFLAによる結晶化
平成29年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会, 2017

Application of catalytic chemical vapor deposition to the fabrication process of high-efficiency crystalline silicon solar cells
13th China SoG Silicon and PV Power Conference, 2017

Jsc and Voc reductions in silicon heterojunction photovoltaic modules by potential-induced degradation tests
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Rapid saturation of potential-induced degradation in n-type c-Si photovoltaic modules
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Y. Komatsu, S. Yamaguchi, A. Masuda, and K. Ohdaira
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Ignition control of the explosive crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Passivation effect of ultra-thin SiNx films formed by Cat-CVD for crystalline silicon surfaces
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Passivation of crystalline Si surfaces with small textures by Cat-CVD SiNx films
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Change in the electrical characteristics of a-Si films and a-sS:H/ITO interfaces by boron Cat-doping
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Improvement in the minority carrier lifetime of Cat-CVD SiNx/c-Si structures under room temperature
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Chemicaly resistive and high quality trasparent silicon nitride passivation layers for back-contact crystalline silicon solar cells
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

Long-term degradation of front side copper metallization of silicon solar cells
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017

What is the potential-induced degradation? -Systematic study on various kinds of photovoltaic cells-
2nd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules, 2017

Low-cost fabrication of patterned electrodes in hetero-junction back-contact silicon solar cells by plasma ion-implantation
33rd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2017

ITO sputtering damage to silicon heterojunction solar cells with Cat-CVD a-Si films and its recovery
33rd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2017

Effect of starting point formation on the crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), 2017

Cat-CVD Technology Preparing Excellent Quality Passivation Films for High Efficiency Crystalline Silicon Solar Cells
3rd International Conference on Advanced Energy Material, 2017

n型c-Si太陽電池の電圧誘起劣化における飽和とその起源に関する考察
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

Cat-CVD で形成した極薄 SiNx膜のパッシベーション性能
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

高温・高湿試験により事前劣化させたn型リアエミッター型c-Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化挙動
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

B Cat-dopingによるa-Si膜およびa-Si／ITO界面の電気特性の変化
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

a-Si上に金属を直接堆積したSiヘテロ接合太陽電池の検討
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

非質量分離型イオン注入によりp-a-Siをn-a-Siに反転させて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化に対する基板端部への起点作製の効果
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

Cat-CVD SiNx膜による片面テクスチャー結晶Si表面のパッシベーション
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

SiNx/c-Si/a-Si構造のパッシベーション性能へのFLAの影響
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017

Cat-CVD による極薄 SiNx膜の形成とそのパッシベーション効果
第14回Cat-CVD研究会, 2017

フラッシュランプアニールによるCat-CVD a-Si膜の結晶化への起点作製の効果
第14回Cat-CVD研究会, 2017

B Cat-dopingによるa-Si膜およびa-Si／ITO界面の電気特性の変化
第14回Cat-CVD研究会, 2017

Cat-CVD法により作製したSiNx/c-Si構造の室温放置による少数キャリア寿命の改善
第14回Cat-CVD研究会, 2017

Cat-CVD SiNx膜による微細テクスチャー結晶Si表面のパッシベーション
第14回Cat-CVD研究会, 2017

Cat-CVD法を用いて作製したSiヘテロ接合太陽電池に対するスパッタダメージの影響
第14回Cat-CVD研究会, 2017

Cat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合界面のイオン注入によるHの影響
第14回Cat-CVD研究会, 2017

Excellent passivation of n-type crystalline Si by SiNx double layers with high chemical resistivity
第14回Cat-CVD研究会, 2017

水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
第14回Cat-CVD研究会, 2017

水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果
第14回Cat-CVD研究会, 2017

Potential-induced degradation of a Si nitride/crystalline Si interface observed through minority carrier lifetime measurement
44th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2017

Entrance of low cost fabrication of back-contact hetero-junction solar cells by using plasma ion-implantation
44th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2017

Analysis for leakage currents within unlaminated photovoltaic-module-like layer stacks in a cell-level potential-induced degradation test
The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2017), 2017

Long-term potential-induced degradation tests for n-type c-Si-wafer-based photovoltaic cell modules
The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2017), 2017

Passivation effect of ultra-thin SiNx films formed by Cat-CVD for crystalline silicon surfaces
The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2017), 2017

Cat-CVD : Damage-Free Thin-Film-Deposition Technique for Fabrication of High Efficiency Solar Cells
BIT's 6th Annual World Congress of Advanced Materials-2017, 2017

表面側にp+エミッタ層を有するn型結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化とその飽和挙動
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017

n型結晶シリコン太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化試験における劣化挙動
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017

n型リアエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化とその回復
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017

ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化要因
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017

n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
平成28年度第2回太陽電池モジュール劣化メカニズム研究会, 2017

ITO製膜によるp-a-Si/i-a-Si膜のパッシベーション能力低下の要因
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

室温放置によるSiNx/c-Si 界面特性の改善
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールのPID試験による表面再結合活性化とその回復
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

n型c-Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化試験
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

B Cat-doping法によるa-Si/ITO界面の電気特性の変化
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

太陽電池セルレベルのPID試験法における試験条件の確立
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

Cat-CVDによる極薄SiNx膜の製膜
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

FLAでのpoly-Si形成におけるSiNx反射防止膜および照射方向の結晶構造への影響
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化における起点制御の検討
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

Cat-CVD SiNx膜による微細テクスチャー結晶 Si 表面のパッシベーション
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化要因
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

非質量分離型イオン注入によるa-Si/c-Siヘテロ接合界面のP,H分布
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017

Application of Cat-CVD technology to crystalline silicon solar cells
SCEJ 82nd Annual Meeting, 2017

Research on Si photovoltaics in JAIST
Japan-Taiwan joint workshop on materials science, 2017

High-quality passivation structures formed by catalytic chemical vapor deposition
JSPS Singapore-Japan Joint Workshop in Singapore, 2016

Catalytic phosphorus and boron doping to amorphous silicon films
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016

Potential-induced degradation for heterojunction crystalline Si photovoltaic modules
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016

Recovery of ITO sputtering damage for various types of Cat-CVD amorphous silicon passivation films
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016

Time dependence and saturation behavior of the potential-induced degradation of n-type front-emitter photovoltaic modules
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016

Simple fabrication of back contact hetero-junction solar cells by plasma ion-implantation
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016

Potential-induced degradation of n-type crystalline silicon photovoltaic modules
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016

Progression behavior of the potential-induced degradation of n-type c-Si-wafer-based photovoltaic modules with a front-side p+ emitter
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016

Activation of surface recombination at a SiNx/n-type c-Si interface after potential-induced degradation
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016

Potential-induced degradation for silicon heterojunction photovoltaic modules
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016

Potential-induced degradation of photovoltaic modules with n-type crystalline silicon bifacial cells
3rd bifi PV workshop, 2016

Effect of anti-reflection coating on the crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
2016 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2016), 2016

FLA でのa-Siの結晶化におけるSiNx反射防止膜とパルス光入射方向の影響
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016

SiNx膜のパッシベーション性能の電圧誘起劣化
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016

ドープ層を含むCat-CVD a-Siパッシベーション膜へのITOスパッタダメージ
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016

n型c-Si 太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における飽和挙動
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016

イオン注入を用いた裏面電極ヘテロ接合太陽電池製造工程の簡略化 ―― a-Si/c-Siパシベーション電極の伝導型制御
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016

CIGS薄膜太陽電池モジュールの電圧誘起劣化/回復過程におけるNaの拡散挙動
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016

Cat-CVD Silicon Nitride Films and Catalytic Impurity Doping for Application to Silicon-Based Solar Cells
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016

ITO Sputtering Damage to Cat-CVD Amorphous Silicon Passivation Films and Its Recovery
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016

Improved Quality of Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films by Using Low Defect Density Cat-CVD a-Si Films
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016

Chemical Resistant Silicon Nitride Prepared by Cat-CVD for Solar Cell Application
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016

Plasma Ion Implantation to Cat-CVD a-Si Passivation Films
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016

次世代Si系太陽電池に関するJAISTでの取り組み
科学技術交流財団 第1回「低炭素社会実現のための太陽光エネルギー変換機能材料・デバイス開発研究会」, 2016

Cat-CVD i-a-Siおよびn-a-Siパッシベーション膜へのITOスパッタダメージとその回復
第13回Cat-CVD研究会, 2016

Cat-CVD法により堆積した窒化Si膜の高温アニール後のパッシベーション能力
第13回Cat-CVD研究会, 2016

結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化現象における基板面方位の影響
第13回Cat-CVD研究会, 2016

Cat-CVD法により作製したSiNx/c-Si構造のフラッシュランプアニールを用いた界面特性の改善
第13回Cat-CVD研究会, 2016

フラッシュランプアニールでのa-Siの結晶化におけるCat-CVDで作製したSiNx膜の反射防止効果
第13回Cat-CVD研究会, 2016

a-Si へのCatドーピングのパッシベーション能力への影響
第13回Cat-CVD研究会, 2016

Cat-CVD a-Si膜へのプラズマイオンドーピング
第13回Cat-CVD研究会, 2016

裏面側にp+エミッターを有するn型単結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化
産業技術総合研究所 太陽光発電研究 成果報告会 2016, 2016

ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池のPID試験
産業技術総合研究所 太陽光発電研究 成果報告会 2016, 2016

Cat-CVD passivation realizing extremely low surface recombination velocity <0.2 cm/s in solar cell structure
43rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2016

Potential-Induced Degradation Behavior of n-Type Single-Crystalline Silicon Photovoltaic Modules with a Rear-Side Emitter
43rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2016

Si heterojunction solar cells with a-Si passivation films formed from liquid Si
43rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2016

n型リアエミッター型結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化挙動
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

Cat-CVDで堆積したSiNx膜の高温アニール後の表面再結合速度
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

フラッシュランプアニールでのa-Siの結晶化における反射防止膜の効果
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

SiNx/c-Si構造へのフラッシュランプアニールによる少数キャリア寿命の改善
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

スパッタ前アニールを施したa-Siパッシベーション膜へのスパッタダメージ
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

液体SiによるSiヘテロ接合太陽電池の作製
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

a-Si/c-Siパシベーション層へのプラズマイオンドーピング
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016

Effect of Chemical Cleaning before Deposition of Cat-CVD Passivation Films to Realize Extremely Low Surface Recombination Velocity on Textured Structure
2016 MRS Spring Meeting & Exhibit, 2016

裏面側にエミッターを有するn型c-Si太陽電池モジュールのPID挙動
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

液体Siを用いたSiヘテロ接合太陽電池の作製
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

a-Siパッシベーション膜へのCat-dopingによる結晶Siの少数キャリア寿命の変化
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

前駆体a-Siの膜質制御によるFLA-poly-Si膜の欠陥密度低減
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

FLA でのa-Siの結晶化における反射防止膜利用によるパルス光エネルギー低減
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

Cat-CVD a-Si パッシベーション膜へのITOスパッタダメージ
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

フラッシュランプアニールによるSiNx/c-Si界面特性の改善
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

Cat-CVDで形成した窒化Si膜の高温アニール後のパッシベーション能力
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

a-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池のa-Si層へのプラズマドーピング
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

Effect and Optimization of Chemical Cleaning before Deposition of Cat-CVD Passivation Films to Realize Extremely Low Surface Recombination Velocity on Flat and Textured Structures
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016

Application of catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) to the passivation films of silicon-based solar cells
The 1st International Symposium of Energy & Environment in JAIST (I SEE JAIST 2016), 2016

液体シリコンを用いた非晶質シリコンの製膜とその太陽電池応用
日本学術振興会第161委員会 第93回研究会「太陽電池用材料と結晶成長技術の新展開」, 2015

Suppression of the epitaxial growth of Si films in silicon heterojunction solar cells by the formation of ultra-thin oxide layers
25th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-25), 2015

Potential-induced degradation of photovoltaic modules fabricated using flat mono-crystalline silicon cells with different surface orientations
JAIST Symposium on Advanced Science and Technology 2015, 2015

Formation of thermally stable amorphous silicon passivation films using liquid silicon
JAIST Symposium on Advanced Science and Technology 2015, 2015

Cat-CVD技術とその結晶Si系太陽電池応用
日本真空学会スパッタリング及びプラズマプロセス技術部会 第145回定例研究会「ディスプレイ, 太陽電池用薄膜プロセスの最新技術と量産への応用」, 2015

Formation of thermally stable a-Si passivation films using liquid Si
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), 2015

Catalytic Doping of Phosphorus and Boron Atoms onto Hydrogenated Amorphous Silicon films
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), 2015

Behavior of the Potential-Induced Degradation for Photovoltaic Modules Fabricated using Flat Mono-Crystalline Silicon Cells with Different Surface Orientations
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), 2015

PのCat dopingを施したa-Si膜に対する活性化アニール
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

異なる面方位を有する平面基板を用いて作製された単結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化挙動
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

液体Siを用いて製膜したa-Siパッシベーション膜の大気雰囲気下での劣化特性
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜の品質への前駆体a-Si膜の影響
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

フラッシュランプアニールにより形成した多結晶シリコン膜の熱伝導率測定
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

p型GaN層のSiNxパッシベーション膜の検討
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたレジストの除去
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015

Atomic Scale Study on Interface of Amorphous-Silicon/Crystalline-Silicon
26th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS26), 2015

フラッシュランプアニールで形成した多結晶シリコン膜の熱電物性
第12回日本熱電学会学術講演会, 2015

低圧下で生成した原子状水素を用いたレジストの除去
第12回Cat-CVD研究会, 2015

極薄酸化膜形成によるa-Si堆積時のエピタキシャル成長抑止
第12回Cat-CVD研究会, 2015

Cat-doping法を用いたa-Si膜へのBおよびPのドーピング
第12回Cat-CVD研究会, 2015

Reduction in interface state density at the interfaces of Cat-CVD SiNx/c-Si and SiNx/P Cat-doped layer/c-Si structures
第12回Cat-CVD研究会, 2015

SiNx/a-Si積層パシベーションにおけるCat-CVD法とPECVD法の比較
第12回Cat-CVD研究会, 2015

Thermal conductivity measurement of liquid-quenched higher manganese silicides
34th Annual International Conference on Thermoelectrics (ICT2015), 2015

Defect Termination on c-Si Surfaces by Hydrogen for Improvement in the Passivation Quality of Cat-CVD SiNx and SiNx/P Cat-Doped Layers
5th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2015), 2015

Photo-Carrier Generation at a-Si Layer in SiNx/a-Si Stacked Passivation with Extremely Low Surface Recombination Velocity
42nd IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC-42), 2015

液体Siを用いて製膜したa-Si膜のパッシベーション性能
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015

SiNx/a-Si積層パッシベーションにおけるa-Si層の発電効果
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015

Cat-CVD a-Si製膜における極薄酸化膜形成によるエピタキシャル成長抑止
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015

a-Si膜に対するBおよびPのCat-doping
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015

FLAにより形成したpoly-Si膜へのa-Si膜による表面パッシベーション
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015

EELSによるp(n)-a-Si/i-a-Si/c-Si多層膜におけるSiのディスオーダーの評価
日本顕微鏡学会第71回学術講演会, 2015

液体Siを用いて製膜したa-Siパッシベーション膜の耐熱性
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

Cat-doping法によるa-Si膜への低温ドーピング
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

Defect termination at the interfaces of Cat-CVD SiNx/c-Si and SiNx/P Cat-doped layer/c-Si structures
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

Si(111)およびSi(100)におけるCat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合界面の極薄酸化膜形成による品質改善
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

FLAによるテクスチャ化ガラス上へのpoly-Si薄膜形成
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜のa-Si膜による表面パッシベーションの効果
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

低界面再結合速度を実現するCat-CVD SiNx/a-Si積層保護膜の光学特性
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

低表面再結合速度を実現したCat-CVD SiNx/a-Si積層膜の化学耐性
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

イントロダクトリートーク 〜結晶成長と結晶評価技術の重要性〜
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

3ω法を用いたMnSiγリボン状試料の熱伝導率測定
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015

Application of c-Si surface oxidation to a-Si/c-Si heterojunction solar cells
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014

The formation of thin poly-Si films on textured TCO by flash lamp annealing
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014

Passivation quality of Cat-CVD SiNx and SiNx/P Cat-doped layers on textured c-Si wafers
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014

Activation of Cat-Doped Phosphorus Atoms by Flash Lamp Annealing
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014

A Novel Low Temperature Doping Technology, Cat-Doping, and Its Application to Solar Cells
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014

Application of Heterojunction to Si-based Solar Cells Using Photonic Nanostructures Coupled with Vertically Aligned Ge Quantum Dots
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014

シリコン系太陽電池に関するJAISTでの取り組み
第2回金沢大学RSET主催 市民向けセミナー「サステナブルな社会を拓く みらいの発電技術 研究開発最前線」, 2014

Light Absorption Enhancement of Amorphous Si by Plasmon Effects of Gold Nanoparticles
27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 2014

Significant improvement in the passivation property of Cat-CVD SiNx/c-Si structure by applying P Cat-doping
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014

The formation of poly-Si films on flat glass substrates by the flash lamp annealing of Cat-CVD a-Si films
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014

Improvement in Cat-CVD a-Si/c-Si heterojunction interface by the formation of an ultra-thin oxide layer on c-Si
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014

Conductivity modulation in amorphous silicon films by catalytic doping
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014

Cat-doping: a novel low temperature impurity doping technology using hot catalyzing wires
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014

Optical loss in Cat-CVD SiNx/a-Si passivation with low surface recombination velocity
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014

Bi-Te系ナノ微粒子凝集体の熱伝導率測定
第11回日本熱電学会学術講演会(TSJ2014), 2014

Application of Catalytic Phosphorus Doping to a-Si/c-Si Heterojunction Solar Cells
The 29th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2014

A Low Surface Recombination Velocity Realized on Textured c-Si by Cat-CVD SiNx/P Cat-doped Layers
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014

Cat-CVDを用いて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池の極薄酸化膜形成による特性改善
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014

FLAによる平面ガラス上へのpoly-Si薄膜形成
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014

アモルファスSiにおけるプラズモンを利用した光吸収量増大効果
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014

3ω法における温度振幅の複素解析
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014

Passivation Quality for Textured Crystalline Silicon Realized by Low Temperature Phosphorous Cat-Doping and Cat-CVD Silicone-Nitride Passivation Films
第11回Cat-CVD研究会, 2014

Cat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池の極薄酸化膜形成による品質改善の検討
第11回Cat-CVD研究会, 2014

FLAによる平面ガラス基板上のpoly-Si薄膜形成
第11回Cat-CVD研究会, 2014

新しい低温不純物ドーピング技術「Cat-doping」技術の展開
11回Cat-CVD研究会, 2014

低表面再結合を実現したCat-CVD SiNx/a-Si積層膜中a-Siの光吸収
第11回Cat-CVD研究会, 2014

FLAによるテクスチャ基板上のpoly-Si薄膜形成
第11回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2014

極薄酸化膜形成によるCat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合界面の品質改善
第11回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2014

新しい低温不純物ドーピング法「Cat-doping」の太陽電池への応用
第11回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2014

Requirements for Achieving Extremely Low Surface Recombination Velocity and Negligible Optical Loss in Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Passivation
The 40th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2014

Thermal conductivity measurement of aggregated (Bi1-xSbx)Te nanoparticles using 3ω method
The 33rd International Conference on Thermoelectrics (ICT2014), 2014

CMOS ISFET Sensor Array with Catalytic Chemical Vapor Deposited Silicon Nitride Layer and Its Medical Application
Design of Medical Devices Conference, 2014

シクロペンタシランを用いた並列蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

Cat-CVD法による最大表面再結合速度 2 cm/s 以下の透明パシベーション膜低温形成
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

Drastic reduction in surface recombination velocity of Cat-CVD SiNx/c-Si structures by phosphorus (P) Cat-doping
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

a-Si/c-Siヘテロ接合ダイオードにおける少数キャリア寿命への低温ドーピングの影響
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

Cat-CVDを用いて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合界面の表面酸化による品質改善
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

溶液プロセスa-Si:H膜の基礎物性の焼成時間依存性
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

FLAによるテクスチャ透明導電膜上のpoly-Si薄膜形成
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

液体シクロペンタシランを用いた大気圧CVD 法によるa-Si:H 薄膜の作製
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

シリコンインクを用いたアモルファスSiC膜の作製
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

3ω法を用いたBi-Te系熱電厚膜の熱伝導率測定?
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014

Extremely Low Surface Recombination Velocity of Crystalline Silicon Realized by Low Temperature Phosphorus Cat-Doping and Successive Deposition of Cat-CVD Silicon-Nitride Films
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013

Application of Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Passivation Films to Crystalline Si Solar Cells
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013

The use of toughened glass substrates for the formation of polycrystalline silicon films by flash lamp annealing
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013

Stability of Cat-CVD Silicon-Nitride/Amorphous-Silicon Stacked Passivation System Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013

10-µm-Thick Polycrystalline Silicon Films Formed by Flash Lamp Annealing
28th European Photovoltaic Energy conference and Exhibition, 2013

Polycrystalline Silicon Films with Spontaneously-formed Nanostructures Formed by Flash Lamp Annealing
BIT's 3rd Annual World Congress of Nano Science & Technology, 2013

Effect of Annealing on the Vertical Structural Distribution of Solution-Processed a-Si:H Films
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2013), 2013

3ω法を用いたBi-Te系熱電厚膜の熱伝導率測定 II
第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013

SiNx/a-Si積層パッシベーション膜の結晶シリコン太陽電池応用
第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013

溶液プロセスa-Si:H膜の膜厚方向の構造的特性への焼成の影響
第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013

Deposition of moisture barrier films by Cat-CVD using hexamethyldisilazane (HMDS)
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013

High Passivation Quality on c-Si Surface Realized by a Stoichiometric SiNx Single Layer Prepared by Cat-CVD and Successive Annealing
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013

Low Temperature Phosphorus or Boron Doping into Crystalline Silicon by Catalytically Generated Species in Cat-CVD Systems
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013

Study on Light-Soaking Degradation for High Quality Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Layers Passivation
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013

The effects of catalytic-generated atomic H treatment on a-Si:H using "Liquid-Si Printing"
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013

Degradation of a-SiON barrier films formed by Cat-CVD in the PCT environment
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013

ナノ熱電材料測定に向けた熱伝導率測定装置の開発 II
第十回日本熱電学会学術講演会 (TSJ2013), 2013

A Method to Evaluate Explosive Crystallization Velocity of Amorphous Silicon Films during Flash Lamp Annealing
The 25th International Conference on Amorphous and Nano-Crystalline Semiconductors (ICANS-25), 2013

Development of a-Si Solar Cells using "Liquid Silicon"
The 25th International Conference on Amorphous and Nano-Crystalline Semiconductors (ICANS-25), 2013

Reduction of surface recombination velocity of crystalline Silicon by Low Temperature Phosphorus Cat-Doping and Cat-CVD SiNx Film deposition
第10回Cat-CVD研究会, 2013

Cat-CVD SiNx/a-Si積層パッシベーション膜の結晶Si太陽電池応用
第10回Cat-CVD研究会, 2013

Development of thermal conductivity measurement system by the 3ω method and application to thermoelectric particles
The 32nd International Conference on Thermoelectrics (ICT2013), 2013

Formation of polycrystalline silicon films by flash lamp annealing
Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2013, 2013

Formation of Polycrystalline Silicon Films with Various Microstructures by Flash Lamp Annealing of Micrometer-Order-Thick Amorphous Silicon Films
The Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG) 2013 ), 2013

Flash Lamp Annealing as a Method of Crystallizing Amorphous Silicon Films to form Thick Polycrystalline Silicon Films
BIT's 2nd Annual World Congress of Advanced Materials 2013, 2013

Passivation Quality of A SiNx Single Passivation Layer on Crystalline-Si Prepared by Cat-CVD
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013

ヘテロ接合ダイオードへの低温ドーピング技術導入の検討
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013

溶液プロセスa-Si:H膜の焼成およびガス放出による膜構造への影響
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013

低表面再結合速度を実現するCat-CVDSiNx/a-Si積層パシベーション膜の光・温度・湿度耐性の評価
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013

不純物ガスの接触分解を用いる低温不純物ドーピング(Cat-Doping)法と表面電界制御への応用
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013

Passivation Quality of A SiNx Single Passivation Layer on Crystalline-Si Prepared by Cat-CVD
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

低温ドーピングを用いたa-Si/c-Siヘテロ接合ダイオードの作製
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

フラッシュランプアニールによるa-Ge膜の結晶化
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

溶液プロセスa-Si:H膜の膜厚方向の特性分布
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

スリットコート法を用いたa-Si:H薄膜の作製
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

液体原料を用いた蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製（メカニズム）
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

液体原料を用いた蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製（膜特性）
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

3ω法を用いたBi-Te系熱電厚膜の熱伝導率測定
第60回応用物理学会春季学術講演会（神奈川工科大）, 2013

太陽電池の発電原理、その構造と分類
JAIST講演会「太陽電池技術の基礎、研究開発の現状と将来展望」, 2013

Photovoltaic effect of large-grain polycrystalline silicon films formed by flash lamp annealing
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012

Surface Passivation on Crystalline Silicon with Low Optical Reflectivity and Low Surface Recombination Velocity
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012

Study on Stability of SiNx/a-Si Stacked Passivation Layer Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012

Low Temperature Doping of P and B atoms into Crystalline Si by Catalytically Generated Species from PH3 and B2H6
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012

FLAにより形成した大粒径poly-Si膜の発電特性
第9回薄膜材料デバイス研究会, 2012

The control of the film stress of Cat-CVD a-Si films and its impact on explosive crystallization induced by flash lamp annealing
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012

Surface passivation of c-Si wafers using Cat-CVD SiNx/Si-rich SiNx stacked films
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012

Photo-stability of a-Si solar cells fabricated by “Liquid-Si printing method” and treated with catalytic generated atomic hydrogen
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012

Low Temperature Boron Doping into Crystalline Silicon by Boron-Containing Species Generated in Cat-CVD Apparatus
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012

Defect Termination of Flash-Lamp-Crystallized Large-Grain Polycrystalline Silicon Films by High-Pressure Water Vapor Annealing
2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2012), 2012

Study on Light-Soaking Degradation and Damp Heat Tests for Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Passivation Films Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity
27th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2012

フラッシュランプアニールによる太陽電池用多結晶Si薄膜形成
太陽電池材料開発の現在と未来 -第5回半導体若手ワークショップ-, 2012

Surface passivation of crystalline silicon by SiNx/Si-rich SiNx stacked layers
第73回応用物理学会学術講演会, 2012

FLAによる大粒径poly-Si膜形成と結晶化におけるドーパント拡散
第73回応用物理学会学術講演会, 2012

非真空プロセス「液体Si印刷法」で形成したa-Si:Hの光安定性
第73回応用物理学会学術講演会, 2012

Cat-CVD装置を用いたSiへの B原子のドーピング
第73回応用物理学会学術講演会, 2012

a-Si, SiNxパッシベーションにおける光劣化および熱回復
第73回応用物理学会学術講演会, 2012

Cat-CVD a-Si膜の応力制御とフラッシュランプアニールでの結晶化機構への影響
第9回Cat-CVD研究会, 2012

Cat-CVD装置を用いたSiへのB原子のドーピング
第9回Cat-CVD研究会, 2012

a-Si/SiNxパッシベーションにおける光劣化
第9回Cat-CVD研究会, 2012

Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜がc-Siに対する 高品質界面特性を有する原因の究明 その2
第9回Cat-CVD研究会, 2012

Study of the relationship between a gas-barrier property and the residual stress of film made by a Cat-CVD method
第9回Cat-CVD研究会, 2012

Formation of polycrystalline silicon films with μm-order-long grains through liquid-phase explosive crystallization by flash lamp annealing
38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2012

Pixel Controlling Substrate Fabricated by Embedding Millions of Silicon IC Chips on Plastic Substrate and Self-Aligned Metal Interconnection Among Such IC Chips
SID International Symposium, Seminar, and Exhibition,, 2012

フラッシュランプアニールによる大粒径結晶粒poly-Si 形成
学振第175委員会 第9回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2012

Study of the Relationship Between a Gas-Barrier Property and the Membrane Stress of Films Made by a Cat-CVD Method
55th 2012 SVC Annual Technical Conference, Santa Clara, USA,, 2012

Photovoltaic Technology in JAIST, Japan, and East Asia
The 2nd China-Japan-Korea Young Researchers Workshop, 2012

Observation of Different Explosive Crystallization Modes in Sputtered, Evaporated, and Their Stacked a-Si Films
2012 MRS Spring Meeting, 2012

Formation of Polycrystalline Silicon Films for Solar Cells by Flash Lamp Annealing
JSTさきがけ研究領域合同国際シンポジウム「持続する社会を先導する光科学：環境・エネルギー・機能材料」, 2012

FLA によるスパッタ／蒸着積層a-Si膜の結晶化
第59回応用物理学関係連合講演会, 2012

ラジカル反応でドープしたP 原子の分布とキャリア濃度の関係
第59回応用物理学関係連合講演会, 2012

Cat-CVD法を用いたSiへのB原子のドーピング
第59回応用物理学関係連合講演会, 2012

Pixel-controlling-substrates of FPD Fabricated by Micro-Assembling of Millions of IC Chips and Automatic Metal Interconnection among Chips
IDW'11, 2011

Formation of Polycrystalline Silicon Films by Rapid Crystallization
International Photovoltaic Young Scientist Symposium, 2011

Large-Grain Polycrystalline Silicon FilmsFormed Through Flash-Lamp-Induced Explosive Crystallization
21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21), 2011

Low-temperature Phosphorus Doping To Silicon Using Phosphorus-related Radicals
MRS Fall Meeting, 2011

A Novel Method for Low-Resistivity Metal-Interconnection by Using Metallic Functional Liquids and Catalytically Generated Hydrogen Atoms
MRS Fall Meeting, 2011

Why can Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Layers Realize Extremely LowSurface Recombination Velocity On Crystalline Silicon?
PVSEC'11, 2011

フラッシュランプアニールによる太陽電池用多結晶シリコン薄膜形成
日本真空協会 2011年11月研究例会「太陽電池における革新技術の開発動向と将来展望」, 2011

MAT-FPDへの応用を目指した有機基板への微細Siチップ埋め込み技術
平成23年度 応用物理学会北陸・信越支部 学術講演会, 2011

Cat-CVD法とN2プラズマを用いたガスバリア膜の作製
平成23年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2011

FLAによるa-Si膜の横方向結晶化における大粒径結晶粒形成
第8回薄膜材料デバイス研究会, 2011

Formation of high-quality poly-Si films by flash lamp annealing
International topical workshop on Subsecond thermal processing of Advanced Materials (subtherm-2011), 2011

自然エネルギーの活用「太陽光発電の推進」〜そのメリットとデメリット〜
能美市「自然エネルギーを考える会」主催講演会, 2011

26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition 報告
電子情報技術産業協会 太陽電池技術分科会 （非公開）, 2011

Flash-Lamp-Induced Explosive Crystallization of Amorphous Films Leaving Behind Periodic Microstructures
2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2011), 2011

Impact of Glass Substrates on the Properties of Solar Cells Fabricated Using Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films
The 26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (26th EU PVSEC), 2011

Extremely Low Surface Recombination Velocities Realized by Cat-CVD SiNx/a-Si Staked Films on (100) and (111) Crystalline Si Substrates
The 26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (26th EU PVSEC), 2011

MAT-FPD；多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(6)
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

FLAによるa-Si膜の結晶化における横方向結晶化速度
2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会, 2011

多結晶シリコン光導電素子の活性層の薄膜化による周波数応答の向上
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

ラジカルを用いて低温ドーピングを行った結晶Siの表面観察
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

Cat-CVDガスバリア膜のバリア性への基板凹凸の影響
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

フォトレジストマスキング法のラジカルドーピングへの適用の試み
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

MAT-FPD；多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(7) -多数の集積回路間を高速で自己配線する手法
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

Cat-CVD法で製膜されたa-Si/c-Si界面の走査透過電子顕微鏡観察
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

Cat-CVD SiNx/a-Si/c-Si積層パッシベーションのSi基板面方位依存性
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

Cat-CVD法によるSiNx/a-Si積層膜がc-Siに対し 高パッシベーション特性を有する原因の究明
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

FLAにより形成したpoly-Si膜を用いた太陽電池のSuns-VOCによる評価
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

Cat-CVD SiON系バリア膜のGIG型磁気センサへの応用
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011

Mechanism and Control of Crack Generation in Glass Substrates during Crystallization of a-Si Films by Flash Lamp Annealing
24th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 24), 2011

Reduction in the Defect Density of Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films by Conventional Furnace Annealing
24th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 24), 2011

シリコン太陽電池の現状
太陽光発電関連産業群形成を目指した高度人材創出プログラム・太陽光発電基礎講座, 2011

シリコン太陽電池の作製プロセス
太陽光発電関連産業群形成を目指した高度人材創出プログラム・太陽光発電基礎講座, 2011

Frequency response of amorphous silicon photoconductors
16th Opto-Electronics and Communications Conference (OECC), 2011

触媒反応で生成されたラジカルを用いた不純物低温ドープ
日本学術振興会第175委員会 第8回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2011

Cat-CVD技術を用いた表面再結合速度1.5 cm/s 以下のパッシベーション
日本学術振興会第175委員会 第8回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2011

Liquid-phase Explosive Crystallization of Electron-beam-evaporated a-Si Films Induced by Flash Lamp Annealing
International Conference on Materials for Advanced Technologies 2011 (The 5th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology), 2011

Carrier Recombination Mechanisms in Solar Cells Fabricated Using Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films
The 37th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2011

HWCVD-6聴講報告
第8回Cat-CVD研究会, 2011

Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜がc-Siに対する高品質界面特性を有する原因の究明
第8回Cat-CVD研究会, 2011

Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜のSi(111)面に対する表面再結合抑制効果
第8回Cat-CVD研究会, 2011

リン酸ラジカルを用いた低温ドーピング
第8回Cat-CVD研究会, 2011

触媒分解により生成したラジカルを用いた結晶シリコンへの低温ドーピング
第8回Cat-CVD研究会, 2011

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の欠陥密度低減化
第8回Cat-CVD研究会, 2011

Cat-CVDを用いたガスバリア膜における基板凹凸の影響
第8回Cat-CVD研究会, 2011

Investigation of the passivation property of SiNx/Si-rich SiNx stacked layers on crystalline silicon wafers
第8回Cat-CVD研究会, 2011

Effect of H atoms generated by Cat-CVD system on silver nanoparticle growth*
第8回Cat-CVD研究会, 2011

瞬間結晶化による太陽電池用多結晶シリコン薄膜形成
日本化学会第91春季年会, 2011

アモルファスシリコンを熱処理した多結晶シリコン膜による光導電素子
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

FLAにより形成したpoly-Si膜を用いた太陽電池特性の基板依存性
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

FLAにより形成したpoly-Si膜の欠陥密度低減化
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

リン系ラジカルを用いたSiへの低温ドーピング
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

Cat-CVD SiNx/a-Si積層パッシベーションにおけるSiNx膜質の影響
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜のSi(111)面に対するパッシベーション効果
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

フラッシュランプアニールによる非晶質シリコン膜の結晶化とその太陽電池応用
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011

フラッシュランプアニールによるガラス基板上への太陽電池用多結晶Si薄膜形成
第2回半導体デバイス若手ワークショップ, 2011

Cat-CVD法による大面積・高速製膜技術
超高速・大面積製膜プロセス（化学工業会反応工学部会 CVD反応分科会主催 ミニシンポジウム）, 2010

フラッシュランプアニールによるa-Si 膜の横方向結晶化
第7回薄膜材料デバイス研究会, 2010

Polycrystalline Silicon Films with Nanometer-Sized Dense Fine Grains Formed by Flash-Lamp-Induced Crystallization
Asian Conference on Nanoscience & Nanotechnology (AsiaNANO 2010), 2010

最新のCVD技術 ― Cat-CVD技術の現状と新しい展開
第１３回薄膜基礎講座, 2010

Microstructures of polycrystalline silicon films formed through explosive crystallization induced by flash lamp annealing
42nd International Conference on Solid State Devices andMaterials (SSDM 2010), 2010

常圧Cat-CVD装置開発のための基礎的検討
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010

MAT-FPD；多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(5)
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010

Cat-CVD シリコン窒化膜によるCMOS ISFET センサアレイを用いたイメージングおよびその応用
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010

アモルファスシリコンMSM型光導電素子の周波数特性
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010

FLAによるpoly-Si薄膜形成におけるガラス中の亀裂深さの評価
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010

FLAによるpoly-Si膜の欠陥終端化アニールを用いた太陽電池作製
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010

Flash-lamp-crystallized polycrystalline silicon films with high hydrogen concentration formed from Cat-CVD a-Si films
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010

Advantage of plasma-less deposition in Cat-CVD to performance of electric devices
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010

Low resistivity metal lines formed by functional liquids and successive treatment of catalytically generated hydrogen atoms in Cat-CVD system
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010

Excellent passivation effect on Cat-CVD SiNx/a-Si stack films on Si substrates
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010

Extremely low recombination velocity on crystalline silicon surfaces realized by low-temperature impurity doping in Cat-CVD technology
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010

Catalytic decomposition of NH3 on heated Ru and W surfaces
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010

1.5 cm/s Surface Recombination Velocity Realized by Cat-CVD SiNx/i-a-Si Double Passivation Layers on Crystalline S
25th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (5th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion), 2010

Defect Termination of Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films by Undesorped Hydrogen Atoms
25th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (5th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion), 2010

Propagation Loss of Amorphous Silicon Optical Waveguides at the 0.8 μm-Wavelength Range
7th IEEE International Conference on Group IV Photonics (GFP2010), 2010

Cat-CVDを用いたc-Si上へのSiNx/a-Si積層パッシベーション
日本学術振興会第175委員会 第7回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2010

フラッシュランプアニールによるアモルファスシリコン薄膜の結晶化機構
日本学術振興会第175委員会 第7回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2010

Flash-lamp-induced Crystallization of amorphous silicon films in different explosive crystallization modes
Renewable Energy 2010, 2010

Carrier Transport Properties of Flash-Lamp-Crystallized Poly-Si Films
35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2010

Surface Treatment of Crystalline Silicon Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity Using Catalytically Generated Radicals
35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2010

触媒反応で生じたP系ラジ カルによるSi基板への低温ドーピング
第７回Cat-CVD研究会, 2010

Ru触媒体上でのアンモニアの分解によるH原子およ びNHラジカル生成機構
第7回Cat-CVD研究会, 2010

Influence of Hydrogen Exposure in a Hot-wire System on Morphology and Electrical Property of Silver Lines
第7回Cat-CVD研究会, 2010

Cat-CVDを用いたSiNx/a-Si積層膜によるc-Siのパッシベーション
第7回Cat-CVD研究会、浜松市, 2010

Study of High Gas Barrier Performance of Film with Coated SiOxNy Layers
53rd Society of Vacuum Coatings Annual Technical Conference, 2010

RuおよびW触媒体上でのアンモニアの分解によるラジカル発生機構
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

Cat-CVD SiNx/i-a-Si積層膜によるSi基板のパッシベーション効果
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

原子によるシリコンの表面クリーニングにおけるPH3添加の効果
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

フラッシュランプアニールによるpoly-Si薄膜形成における基板材料の影響
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜を用いた太陽電池での支配的な再結合過程の評価
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

a-Si TFTのSiNxゲート絶縁膜の熱処理による低欠陥化
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の電気特性の温度依存性
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

フラッシュランプアニールによるa-Si膜の横方向結晶化への前駆体構造の影響
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

波長0.8 μm帯におけるアモルファスシリコン光導波路の伝搬損失
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010

Cat-CVD Technology for nano-scale surface modification
2010 International Symposium on Atom-scale Silicon Hybrid Nanotechnologies for 'More-than-Moore' & 'Beyond CMOS' Era, 2010

Flash-lamp-crystallized Polycrystalline Silicon Films with Remarkably Long Minority Carrier Lifetimes
19th International Photovoltaic Science and Engineering Conference and Exhibition, 2009

Cat-CVD装置の太陽電池への応用
太陽電池の成膜技術・装置 徹底解説, 2009

Selection of Material for the Back Electrodes of Thin-FilmSolar Cells using Polycrystalline Silicon Films Formed byFlash Lamp Annealing
2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2009), 2009

Cat-CVD (Catalytic-CVD): Its Fundamentals and Application
EuroCVD-17 and CVD XVII, 2009

最新のＣＶＤ技術 - Cat-CVD技術の現状と新しい展開
第１2回薄膜基礎講座（日本表面科学会主催）、, 2009

SUPERIOR POTETIAL OF FLASH-LAMP-CRYSTALLIZED POLY-SI FILMS FOR APPLICATION TO THIN -FILM POLY-SI SOLAR CELLS
24th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2009

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の電気的特性の評価
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の欠陥終端化法の改善
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009

MAT-FPD；多数の微細Si チップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ（4）―多数の集積回路間を高速で自己配線する手法―
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009

MAT-FPD；多数の微細Si チップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(3)－画素位置に移載する微細チップの作成法－
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009

プラズマが与えるa-Si TFTの電気特性への影響
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009

Cat-CVD法によるPTFE膜を用いた衣類の撥水加工
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009

Investigation of Cat-CVD Amorphous Silicon Film Properties under High Catalyzer Temperature
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2009

Polycrystalline Si Films with UniqueMicrostructures Formed from Amorphous SiFilms by Non-thermal Equilibrium Flash LampAnnealing
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2009

Advantage of Plasma-Less Deposition; Cat-CVD Fabrication of a-Si TFT with CurrentDrivability Equivalent to Poly-Si TFT
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2009

100 μsのキャリア寿命を有するフラッシュランプアニールによる形成されるガラス基板上多結晶シリコン薄膜
日本学術振興会第175委員会 第6回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2009

太陽電池製造におけるCat-CVD法について
情報機構「太陽電池における成膜技術」セミナー, 2009

Cat-CVD法によるHMDSを用いたガスバリア膜の形成
第6回Cat-CVD研究会, 2009

Cat-CVD法により生成した水素原子によるSi表面クリーニング
第6回Cat-CVD研究会, 2009

Improvement in Electrical Conductivity of Silver Metal Lines by Exposure to Atomic Hydrogen Generated by Cat-CVD
第6回Cat-CVD研究会, 2009

Cat-CVD法によるPTFE膜を用いた衣類の撥水加工の研究
第6回Cat-CVD研究会, 2009

IMPROVED PERFORMANCE OF THIN-FILM SOLAR CELLS USINGSURFACE-MORPHOLOGY-CONTROLLED POLY-SI FILMS CRYSTALLIZED BY FLASH LAMP ANNEALING
34th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2009

MAT-FPD；多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ（1）
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

フラッシュランプアニールによるa-Siの結晶化における不純物ドープの影響
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の表面凹凸制御
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

触媒反応を用いて生成したH原子によるSi表面のin-situクリーニング
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

MAT-FPD；多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ（2）―微細Siチップ間の高速金属配線技術―
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

Cat-CVDシリコン窒化膜のCMOS ISFET センサアレイへの応用
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

Cat-CVD法によりHMDSを用いて作製したSiOxNyガスバリヤ膜特性のO2流量依存性
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

Cat-CVD法によるPTFE膜を用いた衣類の撥水加工
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009

a-Si TFTs with current drivability equivalent to poly-Si TFTs
International Thin Film Transistor Conference 2009 (ITC'09), 2009

Application of Silicon Nitride by Catalytic Chemical Vapor Deposition (Cat-CVD) to CMOS ISFET Sensor LSI
Fifth International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics, 2009

Cat-CVD法によるa-Si:H薄膜の作製技術と瞬間熱処理による高品質多結晶Si薄膜形成
技術情報協会『太陽電池』総合技術セミナー, 2009

Drastic Reduction in Optical Reflectance of Flash-Lamp-Crystallized Poly-Si Films by Conventional Wet Etching
8th Internatonal Photovoltaic Science and Engineering Conference & Exhibition, 2009

Cat-CVD Technology and Its Application to Solar Cells
International Symposium on Solar Cell Technologies (ISSCT) 2008, 2008

The Studies of Cat-CVD Amorphous Silicon (a-Si) Film Properties under High Catalyzer Temperature
International Symposium on Solar Cell Technologies (ISSCT) 2008, 2008

Cat-CVD超撥水PTFE薄膜の作製
表面技術協会 材料機能ドライプロセス部会 第76回例会, 2008

Cat-CVD法によるHMDSを用いたSiNx系ガスバリア膜の組成評価
第69回応用物理学会学術講演会, 2008

フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化におけるプレヒートおよびパルス時間の影響
第69回応用物理学会学術講演会, 2008

フラッシュランプアニールにより形成した薄膜poly-Siヘテロ接合太陽電池
第69回応用物理学会学術講演会, 2008

加熱触媒体を用いた短時間熱処理によるSiNx薄膜の高品質化
第69回応用物理学会学術講演会, 2008

PECVD法とCat-CVD法により作製した薄膜トランジスタの特性比較
第69回応用物理学会学術講演会, 2008

Cat-CVD a-Si,SiNx膜を用いた裏面電極へテロ接合太陽電池の作製
第69回応用物理学会学術講演会, 2008

Detection of ion impurities in organic thin films by displacement current measurement method
SID Display Week 2022,