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大平 圭介 (OHDAIRA, Keisuke)教授
マテリアルサイエンス系, 環境・エネルギー領域

講演・口頭発表

599件
微結晶Siを電子輸送層に用いたペロブスカイト太陽電池の作製
第18回Cat-CVD研究会, 2021
フラッシュランプアニールで形成した多結晶シリコン膜の追加熱処理による低欠陥化
第18回Cat-CVD研究会, 2021
Cat-CVDによって堆積したSiNx上でのAg電極のコンタクト形成
第18回Cat-CVD研究会, 2021
Silicon Heterojunction Solar Cells with a Counter-Doped n-a-Si Film Treated by Flash Lamp Annealing
第18回Cat-CVD研究会, 2021
Cat-CVD SiNx/Si(100)界面に形成した極薄酸化シリコン膜による表面パッシベーションへの影響
第18回Cat-CVD研究会, 2021
水素化Cat-CVD n-a-Si膜へのFLAによるテクスチャ化ガラス上へのn-poly-Si薄膜の形成
第18回Cat-CVD研究会, 2021
Cat-Hによる結晶Si表面のパッシベーション性能の改善
第18回Cat-CVD研究会, 2021
Crystallization of catalytic CVD hydrogenated n-type amorphous silicon films on textured glass substrates by flash lamp annealing
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021), 2021
Influence of light irradiation on the charge-accumulation-type potential-induced degradation of n-type front-emitter crystalline silicon photovoltaic modules
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021), 2021
Use of n-type amorphous Si films for the electron transport layer of perovskite solar cells
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021), 2021
凹凸基板上に作製したCat-CVD水素化n-a-Si膜のFLAによる結晶化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
Cat-CVD装置を用いたTNPCon構造の水素化処理
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
Recovery of PH3 plasma-ion-implantation-induced damages in p-type amorphous silicon by flash lamp annealing
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
Cat-CVDで堆積した単層および積層非晶質Si膜を有するSHJ太陽電池の発電特性
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
Cat-CVDによって堆積したSiNxのファイヤースルーによる物性の変化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における事前逆バイアス印加の影響
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化試験時のリーク電流の変化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
Siヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化への事前アニーリングの影響
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜のCat-CVD装置を用いた原子状水素処理による低欠陥化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
MAPbI3へのn型非晶質Si堆積時の原料ガスの影響
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
ホール輸送層にp型a-Siを用いたトンネル接合を有するペロブスカイト太陽電池のダイオード特性
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
高機能材料を用いた封止材無しn型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
第68回応用物理学会春季学術講演会, 2021
封止材無しn型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2020
Improvement of passivation quality of PH3 plasma ion implanted p-type amorphous silicon by flash lamp annealing
応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2020
Effect of light irradiation on the PID of n-type front-emitter crystalline Si photovoltaic modules with SiNx with different refractive indexes
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Formation of poly-Si films on textured glass substrates by the flash lamp annealing of hydrogenated amorphous Si films
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Passivation of crystalline Si surfaces by stacked amorphous Si films formed by Cat-CVD
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Effect of temperature on the potential-induced degradation of silicon heterojunction photovoltaic modules
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Perovskite solar cell using n-type amorphous Si as an electron transport layer
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Cat-CVD tunneling nitride passivated contact for crystalline silicon solar cells
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Passivation properties of a-Si after plasma ion implantion through a hard mask
The 30th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-30), 2020
Potential-induced degradation of silicon heterojunction photovoltaic modules
3rd International Workshop on Silicon Heterojunction Solar Cells: Science and Industry Technology,, 2020
n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電荷蓄積型電圧誘起劣化における光照射の効果
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
温度がSiヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に及ぼす影響
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
裏面電極型結晶Si太陽電池モジュールの負バイアス下での電圧誘起劣化
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
極薄Cat-CVD窒化Siによる太陽電池の裏面パッシベーションコンタクト
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
Cat-CVDで堆積したi-a-Si積層膜での結晶Si表面のパッシベーション
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
ハードマスクを通したイオン注入により形成されたp-nパターンのパッシベーション品質の評価
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
FLAによるテクスチャ基板上に堆積したCat-CVD水素化a-Si膜の結晶化
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
n型非結晶Siを電子輸送層に用いたペロブスカイト太陽電池
第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2020
Influence of light illumination on the potential-induced degradation of n-type interdigitated back-contact crystalline Si photovoltaic modules
2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020), 2020
Tunnel nitride passivated contacts for silicon solar cells formed by Cat-CVD
2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2020), 2020
Cat-CVDにおける輻射熱と水素ラジカルのMAPbI3への影響
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
水素化a-SiへのFLAによるテクスチャ化ガラス上へのpoly-Si薄膜
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
SiNx膜の屈折率が異なるn型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における光照射の効果
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
光照射および温度がSiヘテロ接合太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に及ぼす影響
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
ハードマスクを通したイオン注入によるa-Siへのp-nパターンの形成—パッシベーション性能の評価
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
Cat-CVDで形成した積層非晶質Si膜での結晶Si表面のパッシベーション
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
Cat-CVD法によるTOPCon太陽電池の裏面構造の形成
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価
第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020
Siヘテロ接合裏面電極型太陽電池製造の簡略化のためのCat-CVD p型a-Siへのカウンタドープ
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
Cat-CVD極薄窒化Siによる裏面パッシベーションコンタクト
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
テクスチャガラス基板上でのCat-CVD a-Si膜のFLAによる結晶化
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
キャリア輸送層応用を目指したMAPbI3へのCat-CVD a-Si堆積
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
Cat-CVD i-a-Si積層膜での結晶Si表面のパッシベーション
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
活性種とポリマーとの反応について
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
He/O2混合ガスを用いたOラジカルによるレジストの分解特性の評価
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果
第17回Cat-CVD研究会、オンライン, 2020
高性能Si太陽電池モジュールで観測される電圧誘起劣化
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
バックコンタクト型結晶Si太陽電池モジュールのPIDにおける光照射の影響
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
Cat-CVDによるMAPbI3上へのドープSi膜の堆積
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
低触媒体温度でのNH3系ラジカル処理によるSiNx膜のパッシベーション性能への影響
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
水素処理によるCat-CVD極薄窒化Si膜のパッシベーション性能の改善
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
n型フロントエミッタ型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるSiNx膜の影響
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
SiO2膜の無いn型フロントエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における光照射の効果
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
電子線蒸着a-Si膜へのフラッシュランプアニールで形成したpoly-Si膜を用いたテストセルの作製
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
Catカウンタードーピングによるp-a-Siの形成
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
カウンタドープn-a-Si層を用いたシリコンヘテロ接合太陽電池の性能
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
Cat-CVD i-a-Si/i-a-Si積層膜での結晶Si表面のパッシベーション
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
シリコン基板を用いた簡易裏面電極型Siヘテロ接合太陽電池の作製
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
Siヘテロ接合太陽電池モジュールの光照射下での電圧誘起劣化
第67回応用物理学会春季学術講演会、予稿発行のみ, 2020
n型フロントエミッター型結晶Si太陽電池モジュールのPIDにおけるSiO2膜の影響
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019
n型フロントエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの長時間PIDにおけるNaの挙動
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019
n型フロントエミッタ結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化挙動に関する屋内および屋外試験結果の比較
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019
n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールのPIDにおける光照射の影響
AIST太陽光発電研究成果報告会2019 (つくば国際会議場), 2019
結晶Si太陽電池の製造技術開発
応用物理学会 北陸・信越支部 支部講演会, 2019
Cat-CVD a-Si膜のパッシベーション性能の基板面積依存症
応用物理学会 北陸・信越支部 支部講演会, 2019
酸化膜無n型フロントエミッタ型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における光照射の効果
応用物理学会 北陸・信越支部 支部講演会, 2019
Sub-20 Nm thick ferroelectric Hf-Zr-O flims fabricated by solution process for ferroelectric-gate TFT applications
薄膜材料デバイス研究会 第16回研究集会「新時代に向けた薄膜材料のデバイス技術」, 2019
Comparison between indoor and outdoor test results on potential-induced degradation behavior for n-type front-emitter crystalline Si photovoltaic modules
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Effect of boron concentration on counter-doping of boron doped amorphous silicon by PH3 plasma ion implantation
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Influence of light illumination on the potential-induced degradation of n-type rear-emitter crystalline Si photovoltaic modules
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Influence of NH3-related radicals generated in a Cat-CVD apparatus on the passivation quality of SiNx films
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Crystallization of electron-beam-evaporated amorphous Si films on textured glass substrates by FLA
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Fabrication of SHJ solar cells with p-type a-Si films formed from n-a-Si by B Cat-doping
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Potential-induced degradation and recovery behaviors of photovoltaic modules with n-type front-emitter crystalline Si cells without SiO2
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Tunneling conductivity of ultra-thin SiNx films for TOPCon-like solar cells formed by Cat-CVD
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
Systematic study on potential-induced degradation of n-type crystalline Si photovoltaic modules
The 29th International PV Science and Engineering Conference (PVSEC-29), 2019
n型リアエミッター型c-Si PVモジュールのPIDにおける光照射の影響
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
高効率結晶Si太陽電池のためのプロセス技術開発
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの正バイアスPID試験と回復試験
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
リアエミッタおよびフロントエミッタ構造を有するSHJ太陽電池のPID挙動の比較
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
Effect of annealing temperatures on surface passivation quality of Cat-CVD p-a-Si on c-Si
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
Microparticle-Assisted Texturing (MPAT) Process: Almost One Order Cost-Reduction, and Toward Mass Production of Low-Cost and High-Performance Crystalline-Silicon Solar Cells
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
テクスチャガラス基板上に作製した電子線蒸着非晶質Si膜のFLAにおける結晶化機構
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
Cat-CVD法のNH3系ラジカル処理によるSiNx膜のパッシベーション性能の変化
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
Cat-CVDで形成した極薄窒化Si膜のトンネル導電性
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
BのCatドーピングで形成したp型a-Siを用いたSHJ太陽電池の作製
第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019
Potential-induced degradation of n-type front-emitter crystalline silicon photovoltaic modules with different degradation stages
36th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (36th EU PVSEC 2019), 2019
n型a-SiへのBのCatドーピングによるp型a-Si作製の試み
第16回 Cat-CVD研究会, 2019
Control of Solution Wettability on Textured c-Si Prior to Cat-CVD of SiNx/a-Si for Obtaining Extremely Low Surface Recombination Velocity of 0.6 cm/s
第16回 Cat-CVD研究会, 2019
Cat-CVDチャンバーでのNH3系ラジカルがSiNx膜のパッシベーション性能に及ぼす影響
第16回 Cat-CVD研究会, 2019
水素ラジカルを用いた KrF/ArF レジスト用ベース樹脂の除去度における酸素添加効果
第16回 Cat-CVD研究会, 2019
FLAによるテクスチャ基板上に堆積したEB蒸着Si膜の結晶化における亀裂抑制効果
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
n型a-SiへのBのCatドーピングによるp型a-Si作製の試み
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
Cat-CVD 窒化Si膜のパッシベーション性能の膜厚依存性
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
NH3系ラジカル処理のCat-CVD SiNx 膜のパッシベーション性能への影響
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの長時間PID試験での劣化挙動
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるSiO2膜の効果
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
リアエミッタおよびフロントエミッタ型SHJ太陽電池モジュールのPID挙動の比較
日本学術振興会第175委員会 第16回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2019
Influence of hygrothermal stress on potential-induced degradation for homojunction and heterojunction crystalline Si photovoltaic modules
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019
Utilization of amorphous silicon films for carrier transport layers in MAPbI3 solar cells
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019
Effect of a SiO2 film on the potential-induced degradation of n-type front-emitter c-Si photovoltaic modules
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019
Thickness dependence of the passivation quality of Cat-CVD SiNx films
The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019), 2019
Control of Texture Size on As-Cut Crystalline Silicon by Microparticle-Assisted Texturing (MPAT) Process
The 46th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2019
電荷輸送層に非晶質Si膜を用いたMAPbI3太陽電池
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
Operando SEM observation of corrosion process of Al foil
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
表面粗さを変化させたテクスチャガラス基板が電子線蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化機構に与える影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
シリコンヘテロ接合太陽電池のPIDに及ぼす湿熱負荷の影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化におけるSiO2膜の影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
n型結晶Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化におけるNaの挙動
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
Formation of fine-textured surface on as-cut crystalline silicon wafers by micro particle-assisted texturing(MPAT)
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
CIGS薄膜太陽電池セルのKF-PDTがPIDに与える影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
Spectroscopic study on boron-doped ultrananocrystalline diamond thin films synthesized by coaxial arc plasma: Toward the application to UV photodetector
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
BのCatドーピングによるn型a-Siの導電率の変化
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
触媒分解で生成したNH3系ラジカル処理がSiNx膜のパッシベーション性能に与える影響
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
Cat-CVD装置での窒化処理による極薄窒化Si膜の形成
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
フラッシュランプアニールを用いた微結晶Si薄膜の結晶化
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
Counter doping of boron doped a-Si by plasma ion implantation ―the dependence of passivation quality of counter-doped n-a-Si films on boron concentration―
第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019
Hydrogenation effects on photoresponsivity in hetrojunction diodes comprising p-type ultrananocrystalline diamond films and n-Si substrates
平成30年度応用物理学会 九州支部 学術講演会, 2018
Cat-CVD SiNx膜のパッシベーション性能への膜厚の影響
平成30年度応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2018
フラッシュランプアニールによる微結晶Si薄膜の結晶化
平成30年度応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2018
n型フロントエミッター型太陽電池モジュールの電圧誘起劣化におけるSiO2膜の効果
平成30年度応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2018
Extremely low surface recombination velocity of 0.6 cm/s obtained on textured crystalline silicon prepared by microparticle-assisted texturing (MPAT) process for solar cells
The 8th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2018
Formation of counter-doped n-a-Si films with good passivation quality by plasma ion implantation
The 7th Korea-Japan Joint Seminar on PV, 2018
n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に与える光照射の影響
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2018, 2018
n型結晶Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化とその回復
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2018, 2018
同時蒸着SnS薄膜太陽電池における光吸収層薄膜の硫化・エッチング処理の検討
薄膜材料デバイス研究会 第15回研究集会, 2018
電気二重層キャパシタ用電極応用に向けたカーボンナノウォールの親水性化に関する研究
薄膜材料デバイス研究会 第15回研究集会, 2018
Current and electric field analyses inside photovoltaic module during PID acceleration test
3rd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules (SAYURI-PV 2018), 2018
Effect of light illumination on potential-induced degradation in front-emitter n-type crystalline silicon photovoltaic modules
3rd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules (SAYURI-PV 2018), 2018
Performance degradation in front-emitter n-type crystalline silicon photovoltaic modules under long-duration potential-induced degradation tests
3rd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules (SAYURI-PV 2018), 2018
n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化 ― p 型との共通点と相違点 ―
日本学術振興会第175委員会 次世代シリコン太陽電池分科会第9回/モジュール・システム分科会第8回合同研究会, 2018
Passivation of crystalline silicon surfaces with ultra-thin silicon nitride films formed by catalytic chemical vapor deposition
35th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2018
n型フロントエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化に与える光照射の影響
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
共蒸着を用いたテクスチャSiへのペロブスカイト製膜
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
Controlling solution surface tension for the cleaning of small size textured Si surface to obtain extremely low surface recombination velocity of 0.6 cm/s
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
プラズマイオン注入による良好なパッシベーション品質を持つカウンタドープn-a-Si層の形成
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
Cat-CVD SiNx膜のパッシベーション性能の膜厚依存性
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
PID試験中の太陽電池モジュール内部の電流及び電界解析
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
テクスチャガラス基板が電子線蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化機構に与える影響
第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018
Oxygen additive effects on decomposition rate of poly(vinyl phenol)-based polymers using hydrogen radicals produced by a tungsten hot-wire catalyst
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Influence of ITO sputtering on the performance of silicon heterojunction solar cells with Cat-CVD amorphous silicon films
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Passivation of crystalline silicon surfaces with a few μm-sized pyramids by Cat-CVD silicon nitride films
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Improvement in the passivation quality of Cat-CVD SiNx films on crystalline Si at room temperature
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Excellent passivation quality of MPAT crystalline silicon textures for solar cells by using proper chemical cleaning and Cat-CVD SiNx/a-Si stacked layers
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Annealing behavior of Cat-CVD p-type a-Si for c-Si surface passivation and its superiority over PECVD counterparts
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Conversion of conduction type of Cat-CVD p-type a-Si by ion implantation
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
A simplest Cat-CVD apparatus without direct substrate heating system
10th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10), 2018
Crystallization of electron-beam evaporated a-Si films on textured glass substrates by flash lamp annealing
2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018), 2018
Vacuum deposition of CsPbI3 layers on textured Si for perovskite/Si tandem solar cells
2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2018), 2018
Potential-induced degradation in n-type crystalline silicon photovoltaic cell modules
28th Annual NREL Silicon Workshop, 2018
ペロブスカイト/Siタンデム太陽電池の光電流の向上のための低反射テクスチャSiウエハへのCsPbI3真空蒸着
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
PID試験における太陽電池裏面の導体有無によるモジュール内部の電界及び電流解析
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
n型リアエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールのPIDにおけるバックシート材料の影響
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
セルレベルのPID試験におけるチャンバー内の真空引きが劣化挙動に与える影響
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
n型c-Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化とその回復
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
テクスチャガラス基板上に堆積したEB蒸着非晶質Si膜のFLAによる結晶化
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
Extremely high passivation quality on textured crystalline silicon made by microparticle-assisted texturing process for solar cells
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
非質量分離型イオン注入によりp-a-Siをn-a-Siに変換したSiヘテロ接合太陽電池への熱処理効果
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
B Catドーピングを用いたSiヘテロ接合太陽電池の作製
日本学術振興会第175委員会 第15回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2018
フラッシュランプアニールによる太陽電池用多結晶シリコン膜形成
第4回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム, 2018
Silicon Heterojunction Solar Cell with a p-type Amorphous Silicon Emitter Formed by Catalytic Impurity Doping
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018
Performance of silicon heterojunction solar cells with various metal-electrodes directly formed on a-Si films without insertion of TCO
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018
An excellent method to control texture size and reflectivity of crystalline silicon solar cells only by mixing glass micro-particles with an alkaline texturing solution
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018
Low Cost Fabrication of Back Contact Crystalline-Silicon Heterojunction Solar Cells with n-a-Si Layers Partially Converted from p-a-Si by Phosphine (PH3) Plasma Ion-Implantation
World Conference on Photovoltaic Energy Conversion, 2018
セルレベルの電圧誘起劣化試験におけるチャンバー内の真空引きの影響
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
ペロブスカイト/Siタンデム型太陽電池に向けたテクスチャSi上へのCsPbI3層の真空蒸着
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化に対する起点部の膜厚の影響
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
テクスチャガラス基板上EB蒸着非晶質Si膜のFLAでの 結晶化における製膜時の基板温度の影響
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
B Cat-doped a-Si:H層をもつSiヘテロ接合太陽電池
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
a-Si上に金属を直接堆積したSiヘテロ接合太陽電池の検討(2)
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
Cat-CVDで形成した極薄SiNx膜のパッシベーション性能(2)
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
Cat-CVD SiNx膜での微細テクスチャ結晶Si表面パッシベーションの特性改善
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
n型c-Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化後の回復挙動
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
Plasma Ion Implantation: a Promising Method for Fabricating the Low Cost Interdigitated Back Contact Silicon Heterojunction Solar Cell
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
Texture Size Control by Adding Glass Micro-Particles into an Alkaline Solution Used for Crystalline Silicon Solar Cells
第65回応用物理学会春季学術講演会, 2018
Potential-induced degradation of n-type crystalline silicon photovoltaic modules
International Intercollegiate Workshop on Advanced Materials 2017, 2017
テクスチャガラス基板上での電子線蒸着非晶質Si膜のFLAによる結晶化
平成29年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会, 2017
Application of catalytic chemical vapor deposition to the fabrication process of high-efficiency crystalline silicon solar cells
13th China SoG Silicon and PV Power Conference, 2017
Jsc and Voc reductions in silicon heterojunction photovoltaic modules by potential-induced degradation tests
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Rapid saturation of potential-induced degradation in n-type c-Si photovoltaic modules
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Y. Komatsu, S. Yamaguchi, A. Masuda, and K. Ohdaira
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Ignition control of the explosive crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Passivation effect of ultra-thin SiNx films formed by Cat-CVD for crystalline silicon surfaces
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Passivation of crystalline Si surfaces with small textures by Cat-CVD SiNx films
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Change in the electrical characteristics of a-Si films and a-sS:H/ITO interfaces by boron Cat-doping
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Improvement in the minority carrier lifetime of Cat-CVD SiNx/c-Si structures under room temperature
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Chemicaly resistive and high quality trasparent silicon nitride passivation layers for back-contact crystalline silicon solar cells
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
Long-term degradation of front side copper metallization of silicon solar cells
27th International Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2017
What is the potential-induced degradation? -Systematic study on various kinds of photovoltaic cells-
2nd International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under Reliability Investigations in Photovoltaic Modules, 2017
Low-cost fabrication of patterned electrodes in hetero-junction back-contact silicon solar cells by plasma ion-implantation
33rd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2017
ITO sputtering damage to silicon heterojunction solar cells with Cat-CVD a-Si films and its recovery
33rd European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2017
Effect of starting point formation on the crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
2017 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2017), 2017
Cat-CVD Technology Preparing Excellent Quality Passivation Films for High Efficiency Crystalline Silicon Solar Cells
3rd International Conference on Advanced Energy Material, 2017
n型c-Si太陽電池の電圧誘起劣化における飽和とその起源に関する考察
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
Cat-CVD で形成した極薄 SiNx膜のパッシベーション性能
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
高温・高湿試験により事前劣化させたn型リアエミッター型c-Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化挙動
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
B Cat-dopingによるa-Si膜およびa-Si/ITO界面の電気特性の変化
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
a-Si上に金属を直接堆積したSiヘテロ接合太陽電池の検討
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
非質量分離型イオン注入によりp-a-Siをn-a-Siに反転させて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化に対する基板端部への起点作製の効果
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
Cat-CVD SiNx膜による片面テクスチャー結晶Si表面のパッシベーション
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
SiNx/c-Si/a-Si構造のパッシベーション性能へのFLAの影響
第78回応用物理学会秋季学術講演会, 2017
Cat-CVD による極薄 SiNx膜の形成とそのパッシベーション効果
第14回Cat-CVD研究会, 2017
フラッシュランプアニールによるCat-CVD a-Si膜の結晶化への起点作製の効果
第14回Cat-CVD研究会, 2017
B Cat-dopingによるa-Si膜およびa-Si/ITO界面の電気特性の変化
第14回Cat-CVD研究会, 2017
Cat-CVD法により作製したSiNx/c-Si構造の室温放置による少数キャリア寿命の改善
第14回Cat-CVD研究会, 2017
Cat-CVD SiNx膜による微細テクスチャー結晶Si表面のパッシベーション
第14回Cat-CVD研究会, 2017
Cat-CVD法を用いて作製したSiヘテロ接合太陽電池に対するスパッタダメージの影響
第14回Cat-CVD研究会, 2017
Cat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合界面のイオン注入によるHの影響
第14回Cat-CVD研究会, 2017
Excellent passivation of n-type crystalline Si by SiNx double layers with high chemical resistivity
第14回Cat-CVD研究会, 2017
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
第14回Cat-CVD研究会, 2017
水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加効果
第14回Cat-CVD研究会, 2017
Potential-induced degradation of a Si nitride/crystalline Si interface observed through minority carrier lifetime measurement
44th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2017
Entrance of low cost fabrication of back-contact hetero-junction solar cells by using plasma ion-implantation
44th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2017
Analysis for leakage currents within unlaminated photovoltaic-module-like layer stacks in a cell-level potential-induced degradation test
The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2017), 2017
Long-term potential-induced degradation tests for n-type c-Si-wafer-based photovoltaic cell modules
The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2017), 2017
Passivation effect of ultra-thin SiNx films formed by Cat-CVD for crystalline silicon surfaces
The 6th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2017), 2017
Cat-CVD : Damage-Free Thin-Film-Deposition Technique for Fabrication of High Efficiency Solar Cells
BIT's 6th Annual World Congress of Advanced Materials-2017, 2017
表面側にp+エミッタ層を有するn型結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化とその飽和挙動
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017
n型結晶シリコン太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化試験における劣化挙動
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017
n型リアエミッター型結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化とその回復
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017
ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化要因
AIST 太陽光発電研究 成果報告会 2017, 2017
n型結晶Si太陽電池モジュールの電圧誘起劣化
平成28年度第2回太陽電池モジュール劣化メカニズム研究会, 2017
ITO製膜によるp-a-Si/i-a-Si膜のパッシベーション能力低下の要因
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
室温放置によるSiNx/c-Si 界面特性の改善
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
n型リアエミッター型結晶Si太陽電池モジュールのPID試験による表面再結合活性化とその回復
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
n型c-Si太陽電池モジュールの長時間電圧誘起劣化試験
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
B Cat-doping法によるa-Si/ITO界面の電気特性の変化
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
太陽電池セルレベルのPID試験法における試験条件の確立
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
Cat-CVDによる極薄SiNx膜の製膜
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
FLAでのpoly-Si形成におけるSiNx反射防止膜および照射方向の結晶構造への影響
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化における起点制御の検討
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
Cat-CVD SiNx膜による微細テクスチャー結晶 Si 表面のパッシベーション
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化要因
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
非質量分離型イオン注入によるa-Si/c-Siヘテロ接合界面のP,H分布
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性
第64回応用物理学会春季学術講演会, 2017
Application of Cat-CVD technology to crystalline silicon solar cells
SCEJ 82nd Annual Meeting, 2017
Research on Si photovoltaics in JAIST
Japan-Taiwan joint workshop on materials science, 2017
High-quality passivation structures formed by catalytic chemical vapor deposition
JSPS Singapore-Japan Joint Workshop in Singapore, 2016
Catalytic phosphorus and boron doping to amorphous silicon films
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016
Potential-induced degradation for heterojunction crystalline Si photovoltaic modules
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016
Recovery of ITO sputtering damage for various types of Cat-CVD amorphous silicon passivation films
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016
Time dependence and saturation behavior of the potential-induced degradation of n-type front-emitter photovoltaic modules
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016
Simple fabrication of back contact hetero-junction solar cells by plasma ion-implantation
26th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-26), 2016
Potential-induced degradation of n-type crystalline silicon photovoltaic modules
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016
Progression behavior of the potential-induced degradation of n-type c-Si-wafer-based photovoltaic modules with a front-side p+ emitter
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016
Activation of surface recombination at a SiNx/n-type c-Si interface after potential-induced degradation
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016
Potential-induced degradation for silicon heterojunction photovoltaic modules
International Workshop on the Sustainable Actions for "Year by Year Aging" under reliability investigations in photovoltaic modules (SAYURI-PV 2016), 2016
Potential-induced degradation of photovoltaic modules with n-type crystalline silicon bifacial cells
3rd bifi PV workshop, 2016
Effect of anti-reflection coating on the crystallization of amorphous silicon films by flash lamp annealing
2016 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2016), 2016
FLA でのa-Siの結晶化におけるSiNx反射防止膜とパルス光入射方向の影響
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016
SiNx膜のパッシベーション性能の電圧誘起劣化
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016
ドープ層を含むCat-CVD a-Siパッシベーション膜へのITOスパッタダメージ
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016
n型c-Si 太陽電池モジュールの電圧誘起劣化における飽和挙動
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016
イオン注入を用いた裏面電極ヘテロ接合太陽電池製造工程の簡略化 ―― a-Si/c-Siパシベーション電極の伝導型制御
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016
CIGS薄膜太陽電池モジュールの電圧誘起劣化/回復過程におけるNaの拡散挙動
第77回応用物理学会秋季学術講演会, 2016
Cat-CVD Silicon Nitride Films and Catalytic Impurity Doping for Application to Silicon-Based Solar Cells
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016
ITO Sputtering Damage to Cat-CVD Amorphous Silicon Passivation Films and Its Recovery
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016
Improved Quality of Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films by Using Low Defect Density Cat-CVD a-Si Films
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016
Chemical Resistant Silicon Nitride Prepared by Cat-CVD for Solar Cell Application
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016
Plasma Ion Implantation to Cat-CVD a-Si Passivation Films
9th International Confenrence on Hot Wire (Cat) and Initiated Chemical Vapor Deposition, 2016
次世代Si系太陽電池に関するJAISTでの取り組み
科学技術交流財団 第1回「低炭素社会実現のための太陽光エネルギー変換機能材料・デバイス開発研究会」, 2016
Cat-CVD i-a-Siおよびn-a-Siパッシベーション膜へのITOスパッタダメージとその回復
第13回Cat-CVD研究会, 2016
Cat-CVD法により堆積した窒化Si膜の高温アニール後のパッシベーション能力
第13回Cat-CVD研究会, 2016
結晶シリコン太陽電池モジュールの電圧誘起劣化現象における基板面方位の影響
第13回Cat-CVD研究会, 2016
Cat-CVD法により作製したSiNx/c-Si構造のフラッシュランプアニールを用いた界面特性の改善
第13回Cat-CVD研究会, 2016
フラッシュランプアニールでのa-Siの結晶化におけるCat-CVDで作製したSiNx膜の反射防止効果
第13回Cat-CVD研究会, 2016
a-Si へのCatドーピングのパッシベーション能力への影響
第13回Cat-CVD研究会, 2016
Cat-CVD a-Si膜へのプラズマイオンドーピング
第13回Cat-CVD研究会, 2016
裏面側にp+エミッターを有するn型単結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化
産業技術総合研究所 太陽光発電研究 成果報告会 2016, 2016
ヘテロ接合結晶シリコン太陽電池のPID試験
産業技術総合研究所 太陽光発電研究 成果報告会 2016, 2016
Cat-CVD passivation realizing extremely low surface recombination velocity <0.2 cm/s in solar cell structure
43rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2016
Potential-Induced Degradation Behavior of n-Type Single-Crystalline Silicon Photovoltaic Modules with a Rear-Side Emitter
43rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2016
Si heterojunction solar cells with a-Si passivation films formed from liquid Si
43rd IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2016
n型リアエミッター型結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化挙動
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
Cat-CVDで堆積したSiNx膜の高温アニール後の表面再結合速度
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
フラッシュランプアニールでのa-Siの結晶化における反射防止膜の効果
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
SiNx/c-Si構造へのフラッシュランプアニールによる少数キャリア寿命の改善
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
スパッタ前アニールを施したa-Siパッシベーション膜へのスパッタダメージ
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
液体SiによるSiヘテロ接合太陽電池の作製
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
a-Si/c-Siパシベーション層へのプラズマイオンドーピング
日本学術振興会第175委員会 第13回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2016
Effect of Chemical Cleaning before Deposition of Cat-CVD Passivation Films to Realize Extremely Low Surface Recombination Velocity on Textured Structure
2016 MRS Spring Meeting & Exhibit, 2016
裏面側にエミッターを有するn型c-Si太陽電池モジュールのPID挙動
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
液体Siを用いたSiヘテロ接合太陽電池の作製
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
a-Siパッシベーション膜へのCat-dopingによる結晶Siの少数キャリア寿命の変化
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
前駆体a-Siの膜質制御によるFLA-poly-Si膜の欠陥密度低減
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
FLA でのa-Siの結晶化における反射防止膜利用によるパルス光エネルギー低減
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
Cat-CVD a-Si パッシベーション膜へのITOスパッタダメージ
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
フラッシュランプアニールによるSiNx/c-Si界面特性の改善
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
Cat-CVDで形成した窒化Si膜の高温アニール後のパッシベーション能力
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
a-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池のa-Si層へのプラズマドーピング
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
Effect and Optimization of Chemical Cleaning before Deposition of Cat-CVD Passivation Films to Realize Extremely Low Surface Recombination Velocity on Flat and Textured Structures
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
水素ラジカルによるレジスト除去における除去速度の酸素添加量依存性
第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016
Application of catalytic chemical vapor deposition (Cat-CVD) to the passivation films of silicon-based solar cells
The 1st International Symposium of Energy & Environment in JAIST (I SEE JAIST 2016), 2016
液体シリコンを用いた非晶質シリコンの製膜とその太陽電池応用
日本学術振興会第161委員会 第93回研究会「太陽電池用材料と結晶成長技術の新展開」, 2015
Suppression of the epitaxial growth of Si films in silicon heterojunction solar cells by the formation of ultra-thin oxide layers
25th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-25), 2015
Potential-induced degradation of photovoltaic modules fabricated using flat mono-crystalline silicon cells with different surface orientations
JAIST Symposium on Advanced Science and Technology 2015, 2015
Formation of thermally stable amorphous silicon passivation films using liquid silicon
JAIST Symposium on Advanced Science and Technology 2015, 2015
Cat-CVD技術とその結晶Si系太陽電池応用
日本真空学会スパッタリング及びプラズマプロセス技術部会 第145回定例研究会「ディスプレイ, 太陽電池用薄膜プロセスの最新技術と量産への応用」, 2015
Formation of thermally stable a-Si passivation films using liquid Si
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), 2015
Catalytic Doping of Phosphorus and Boron Atoms onto Hydrogenated Amorphous Silicon films
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), 2015
Behavior of the Potential-Induced Degradation for Photovoltaic Modules Fabricated using Flat Mono-Crystalline Silicon Cells with Different Surface Orientations
2015 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2015), 2015
PのCat dopingを施したa-Si膜に対する活性化アニール
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
異なる面方位を有する平面基板を用いて作製された単結晶シリコン太陽電池の電圧誘起劣化挙動
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
液体Siを用いて製膜したa-Siパッシベーション膜の大気雰囲気下での劣化特性
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜の品質への前駆体a-Si膜の影響
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
フラッシュランプアニールにより形成した多結晶シリコン膜の熱伝導率測定
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
p型GaN層のSiNxパッシベーション膜の検討
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたレジストの除去
第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015
Atomic Scale Study on Interface of Amorphous-Silicon/Crystalline-Silicon
26th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS26), 2015
フラッシュランプアニールで形成した多結晶シリコン膜の熱電物性
第12回日本熱電学会学術講演会, 2015
低圧下で生成した原子状水素を用いたレジストの除去
第12回Cat-CVD研究会, 2015
極薄酸化膜形成によるa-Si堆積時のエピタキシャル成長抑止
第12回Cat-CVD研究会, 2015
Cat-doping法を用いたa-Si膜へのBおよびPのドーピング
第12回Cat-CVD研究会, 2015
Reduction in interface state density at the interfaces of Cat-CVD SiNx/c-Si and SiNx/P Cat-doped layer/c-Si structures
第12回Cat-CVD研究会, 2015
SiNx/a-Si積層パシベーションにおけるCat-CVD法とPECVD法の比較
第12回Cat-CVD研究会, 2015
Thermal conductivity measurement of liquid-quenched higher manganese silicides
34th Annual International Conference on Thermoelectrics (ICT2015), 2015
Defect Termination on c-Si Surfaces by Hydrogen for Improvement in the Passivation Quality of Cat-CVD SiNx and SiNx/P Cat-Doped Layers
5th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2015), 2015
Photo-Carrier Generation at a-Si Layer in SiNx/a-Si Stacked Passivation with Extremely Low Surface Recombination Velocity
42nd IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC-42), 2015
液体Siを用いて製膜したa-Si膜のパッシベーション性能
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015
SiNx/a-Si積層パッシベーションにおけるa-Si層の発電効果
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015
Cat-CVD a-Si製膜における極薄酸化膜形成によるエピタキシャル成長抑止
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015
a-Si膜に対するBおよびPのCat-doping
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015
FLAにより形成したpoly-Si膜へのa-Si膜による表面パッシベーション
第12回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2015
EELSによるp(n)-a-Si/i-a-Si/c-Si多層膜におけるSiのディスオーダーの評価
日本顕微鏡学会第71回学術講演会, 2015
液体Siを用いて製膜したa-Siパッシベーション膜の耐熱性
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
Cat-doping法によるa-Si膜への低温ドーピング
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
Defect termination at the interfaces of Cat-CVD SiNx/c-Si and SiNx/P Cat-doped layer/c-Si structures
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
Si(111)およびSi(100)におけるCat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合界面の極薄酸化膜形成による品質改善
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
FLAによるテクスチャ化ガラス上へのpoly-Si薄膜形成
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜のa-Si膜による表面パッシベーションの効果
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
低界面再結合速度を実現するCat-CVD SiNx/a-Si積層保護膜の光学特性
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
低表面再結合速度を実現したCat-CVD SiNx/a-Si積層膜の化学耐性
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
イントロダクトリートーク 〜結晶成長と結晶評価技術の重要性〜
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
3ω法を用いたMnSiγリボン状試料の熱伝導率測定
第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015
Application of c-Si surface oxidation to a-Si/c-Si heterojunction solar cells
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014
The formation of thin poly-Si films on textured TCO by flash lamp annealing
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014
Passivation quality of Cat-CVD SiNx and SiNx/P Cat-doped layers on textured c-Si wafers
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014
Activation of Cat-Doped Phosphorus Atoms by Flash Lamp Annealing
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014
A Novel Low Temperature Doping Technology, Cat-Doping, and Its Application to Solar Cells
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014
Application of Heterojunction to Si-based Solar Cells Using Photonic Nanostructures Coupled with Vertically Aligned Ge Quantum Dots
The 6th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion (WCPEC-6), 2014
シリコン系太陽電池に関するJAISTでの取り組み
第2回金沢大学RSET主催 市民向けセミナー「サステナブルな社会を拓く みらいの発電技術 研究開発最前線」, 2014
Light Absorption Enhancement of Amorphous Si by Plasmon Effects of Gold Nanoparticles
27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2014), 2014
Significant improvement in the passivation property of Cat-CVD SiNx/c-Si structure by applying P Cat-doping
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014
The formation of poly-Si films on flat glass substrates by the flash lamp annealing of Cat-CVD a-Si films
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014
Improvement in Cat-CVD a-Si/c-Si heterojunction interface by the formation of an ultra-thin oxide layer on c-Si
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014
Conductivity modulation in amorphous silicon films by catalytic doping
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014
Cat-doping: a novel low temperature impurity doping technology using hot catalyzing wires
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014
Optical loss in Cat-CVD SiNx/a-Si passivation with low surface recombination velocity
The 8th Hot-Wire (Cat) Chemical Vapor Deposition (HWCVD-8), 2014
Bi-Te系ナノ微粒子凝集体の熱伝導率測定
第11回日本熱電学会学術講演会(TSJ2014), 2014
Application of Catalytic Phosphorus Doping to a-Si/c-Si Heterojunction Solar Cells
The 29th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2014
A Low Surface Recombination Velocity Realized on Textured c-Si by Cat-CVD SiNx/P Cat-doped Layers
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014
Cat-CVDを用いて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池の極薄酸化膜形成による特性改善
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014
FLAによる平面ガラス上へのpoly-Si薄膜形成
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014
アモルファスSiにおけるプラズモンを利用した光吸収量増大効果
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014
3ω法における温度振幅の複素解析
第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014
Passivation Quality for Textured Crystalline Silicon Realized by Low Temperature Phosphorous Cat-Doping and Cat-CVD Silicone-Nitride Passivation Films
第11回Cat-CVD研究会, 2014
Cat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合太陽電池の極薄酸化膜形成による品質改善の検討
第11回Cat-CVD研究会, 2014
FLAによる平面ガラス基板上のpoly-Si薄膜形成
第11回Cat-CVD研究会, 2014
新しい低温不純物ドーピング技術「Cat-doping」技術の展開
11回Cat-CVD研究会, 2014
低表面再結合を実現したCat-CVD SiNx/a-Si積層膜中a-Siの光吸収
第11回Cat-CVD研究会, 2014
FLAによるテクスチャ基板上のpoly-Si薄膜形成
第11回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2014
極薄酸化膜形成によるCat-CVD a-Si/c-Siヘテロ接合界面の品質改善
第11回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2014
新しい低温不純物ドーピング法「Cat-doping」の太陽電池への応用
第11回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2014
Requirements for Achieving Extremely Low Surface Recombination Velocity and Negligible Optical Loss in Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Passivation
The 40th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2014
Thermal conductivity measurement of aggregated (Bi1-xSbx)Te nanoparticles using 3ω method
The 33rd International Conference on Thermoelectrics (ICT2014), 2014
CMOS ISFET Sensor Array with Catalytic Chemical Vapor Deposited Silicon Nitride Layer and Its Medical Application
Design of Medical Devices Conference, 2014
シクロペンタシランを用いた並列蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
Cat-CVD法による最大表面再結合速度 2 cm/s 以下の透明パシベーション膜低温形成
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
Drastic reduction in surface recombination velocity of Cat-CVD SiNx/c-Si structures by phosphorus (P) Cat-doping
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
a-Si/c-Siヘテロ接合ダイオードにおける少数キャリア寿命への低温ドーピングの影響
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
Cat-CVDを用いて作製したa-Si/c-Siヘテロ接合界面の表面酸化による品質改善
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
溶液プロセスa-Si:H膜の基礎物性の焼成時間依存性
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
FLAによるテクスチャ透明導電膜上のpoly-Si薄膜形成
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
液体シクロペンタシランを用いた大気圧CVD 法によるa-Si:H 薄膜の作製
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
シリコンインクを用いたアモルファスSiC膜の作製
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
3ω法を用いたBi-Te系熱電厚膜の熱伝導率測定?
第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014
Extremely Low Surface Recombination Velocity of Crystalline Silicon Realized by Low Temperature Phosphorus Cat-Doping and Successive Deposition of Cat-CVD Silicon-Nitride Films
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013
Application of Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Passivation Films to Crystalline Si Solar Cells
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013
The use of toughened glass substrates for the formation of polycrystalline silicon films by flash lamp annealing
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013
Stability of Cat-CVD Silicon-Nitride/Amorphous-Silicon Stacked Passivation System Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity
23rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-23), 2013
10-µm-Thick Polycrystalline Silicon Films Formed by Flash Lamp Annealing
28th European Photovoltaic Energy conference and Exhibition, 2013
Polycrystalline Silicon Films with Spontaneously-formed Nanostructures Formed by Flash Lamp Annealing
BIT's 3rd Annual World Congress of Nano Science & Technology, 2013
Effect of Annealing on the Vertical Structural Distribution of Solution-Processed a-Si:H Films
2013 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2013), 2013
3ω法を用いたBi-Te系熱電厚膜の熱伝導率測定 II
第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013
SiNx/a-Si積層パッシベーション膜の結晶シリコン太陽電池応用
第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013
溶液プロセスa-Si:H膜の膜厚方向の構造的特性への焼成の影響
第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013
Deposition of moisture barrier films by Cat-CVD using hexamethyldisilazane (HMDS)
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013
High Passivation Quality on c-Si Surface Realized by a Stoichiometric SiNx Single Layer Prepared by Cat-CVD and Successive Annealing
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013
Low Temperature Phosphorus or Boron Doping into Crystalline Silicon by Catalytically Generated Species in Cat-CVD Systems
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013
Study on Light-Soaking Degradation for High Quality Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Layers Passivation
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013
The effects of catalytic-generated atomic H treatment on a-Si:H using "Liquid-Si Printing"
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013
Degradation of a-SiON barrier films formed by Cat-CVD in the PCT environment
2013 JSAP-MRS Joint Symposia, 2013
ナノ熱電材料測定に向けた熱伝導率測定装置の開発 II
第十回日本熱電学会学術講演会 (TSJ2013), 2013
A Method to Evaluate Explosive Crystallization Velocity of Amorphous Silicon Films during Flash Lamp Annealing
The 25th International Conference on Amorphous and Nano-Crystalline Semiconductors (ICANS-25), 2013
Development of a-Si Solar Cells using "Liquid Silicon"
The 25th International Conference on Amorphous and Nano-Crystalline Semiconductors (ICANS-25), 2013
Reduction of surface recombination velocity of crystalline Silicon by Low Temperature Phosphorus Cat-Doping and Cat-CVD SiNx Film deposition
第10回Cat-CVD研究会, 2013
Cat-CVD SiNx/a-Si積層パッシベーション膜の結晶Si太陽電池応用
第10回Cat-CVD研究会, 2013
Development of thermal conductivity measurement system by the 3ω method and application to thermoelectric particles
The 32nd International Conference on Thermoelectrics (ICT2013), 2013
Formation of polycrystalline silicon films by flash lamp annealing
Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2013, 2013
Formation of Polycrystalline Silicon Films with Various Microstructures by Flash Lamp Annealing of Micrometer-Order-Thick Amorphous Silicon Films
The Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG) 2013 ), 2013
Flash Lamp Annealing as a Method of Crystallizing Amorphous Silicon Films to form Thick Polycrystalline Silicon Films
BIT's 2nd Annual World Congress of Advanced Materials 2013, 2013
Passivation Quality of A SiNx Single Passivation Layer on Crystalline-Si Prepared by Cat-CVD
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013
ヘテロ接合ダイオードへの低温ドーピング技術導入の検討
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013
溶液プロセスa-Si:H膜の焼成およびガス放出による膜構造への影響
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013
低表面再結合速度を実現するCat-CVDSiNx/a-Si積層パシベーション膜の光・温度・湿度耐性の評価
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013
不純物ガスの接触分解を用いる低温不純物ドーピング(Cat-Doping)法と表面電界制御への応用
日本学術振興会第175委員会 第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2013
Passivation Quality of A SiNx Single Passivation Layer on Crystalline-Si Prepared by Cat-CVD
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
低温ドーピングを用いたa-Si/c-Siヘテロ接合ダイオードの作製
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
フラッシュランプアニールによるa-Ge膜の結晶化
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
溶液プロセスa-Si:H膜の膜厚方向の特性分布
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
スリットコート法を用いたa-Si:H薄膜の作製
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
液体原料を用いた蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製(メカニズム)
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
液体原料を用いた蒸着法による常圧でのa-Si:H膜の作製(膜特性)
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
3ω法を用いたBi-Te系熱電厚膜の熱伝導率測定
第60回応用物理学会春季学術講演会(神奈川工科大), 2013
太陽電池の発電原理、その構造と分類
JAIST講演会「太陽電池技術の基礎、研究開発の現状と将来展望」, 2013
Photovoltaic effect of large-grain polycrystalline silicon films formed by flash lamp annealing
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012
Surface Passivation on Crystalline Silicon with Low Optical Reflectivity and Low Surface Recombination Velocity
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012
Study on Stability of SiNx/a-Si Stacked Passivation Layer Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012
Low Temperature Doping of P and B atoms into Crystalline Si by Catalytically Generated Species from PH3 and B2H6
22nd international Photovoltaic Science and Engineering Conference, 2012
FLAにより形成した大粒径poly-Si膜の発電特性
第9回薄膜材料デバイス研究会, 2012
The control of the film stress of Cat-CVD a-Si films and its impact on explosive crystallization induced by flash lamp annealing
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012
Surface passivation of c-Si wafers using Cat-CVD SiNx/Si-rich SiNx stacked films
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012
Photo-stability of a-Si solar cells fabricated by “Liquid-Si printing method” and treated with catalytic generated atomic hydrogen
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012
Low Temperature Boron Doping into Crystalline Silicon by Boron-Containing Species Generated in Cat-CVD Apparatus
7th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, 2012
Defect Termination of Flash-Lamp-Crystallized Large-Grain Polycrystalline Silicon Films by High-Pressure Water Vapor Annealing
2012 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2012), 2012
Study on Light-Soaking Degradation and Damp Heat Tests for Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Passivation Films Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity
27th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2012
フラッシュランプアニールによる太陽電池用多結晶Si薄膜形成
太陽電池材料開発の現在と未来 -第5回半導体若手ワークショップ-, 2012
Surface passivation of crystalline silicon by SiNx/Si-rich SiNx stacked layers
第73回応用物理学会学術講演会, 2012
FLAによる大粒径poly-Si膜形成と結晶化におけるドーパント拡散
第73回応用物理学会学術講演会, 2012
非真空プロセス「液体Si印刷法」で形成したa-Si:Hの光安定性
第73回応用物理学会学術講演会, 2012
Cat-CVD装置を用いたSiへの B原子のドーピング
第73回応用物理学会学術講演会, 2012
a-Si, SiNxパッシベーションにおける光劣化および熱回復
第73回応用物理学会学術講演会, 2012
Cat-CVD a-Si膜の応力制御とフラッシュランプアニールでの結晶化機構への影響
第9回Cat-CVD研究会, 2012
Cat-CVD装置を用いたSiへのB原子のドーピング
第9回Cat-CVD研究会, 2012
a-Si/SiNxパッシベーションにおける光劣化
第9回Cat-CVD研究会, 2012
Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜がc-Siに対する 高品質界面特性を有する原因の究明 その2
第9回Cat-CVD研究会, 2012
Study of the relationship between a gas-barrier property and the residual stress of film made by a Cat-CVD method
第9回Cat-CVD研究会, 2012
Formation of polycrystalline silicon films with μm-order-long grains through liquid-phase explosive crystallization by flash lamp annealing
38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2012
Pixel Controlling Substrate Fabricated by Embedding Millions of Silicon IC Chips on Plastic Substrate and Self-Aligned Metal Interconnection Among Such IC Chips
SID International Symposium, Seminar, and Exhibition,, 2012
フラッシュランプアニールによる大粒径結晶粒poly-Si 形成
学振第175委員会 第9回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2012
Study of the Relationship Between a Gas-Barrier Property and the Membrane Stress of Films Made by a Cat-CVD Method
55th 2012 SVC Annual Technical Conference, Santa Clara, USA,, 2012
Photovoltaic Technology in JAIST, Japan, and East Asia
The 2nd China-Japan-Korea Young Researchers Workshop, 2012
Observation of Different Explosive Crystallization Modes in Sputtered, Evaporated, and Their Stacked a-Si Films
2012 MRS Spring Meeting, 2012
Formation of Polycrystalline Silicon Films for Solar Cells by Flash Lamp Annealing
JSTさきがけ研究領域合同国際シンポジウム「持続する社会を先導する光科学:環境・エネルギー・機能材料」, 2012
FLA によるスパッタ/蒸着積層a-Si膜の結晶化
第59回応用物理学関係連合講演会, 2012
ラジカル反応でドープしたP 原子の分布とキャリア濃度の関係
第59回応用物理学関係連合講演会, 2012
Cat-CVD法を用いたSiへのB原子のドーピング
第59回応用物理学関係連合講演会, 2012
Pixel-controlling-substrates of FPD Fabricated by Micro-Assembling of Millions of IC Chips and Automatic Metal Interconnection among Chips
IDW'11, 2011
Formation of Polycrystalline Silicon Films by Rapid Crystallization
International Photovoltaic Young Scientist Symposium, 2011
Large-Grain Polycrystalline Silicon FilmsFormed Through Flash-Lamp-Induced Explosive Crystallization
21st International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-21), 2011
Low-temperature Phosphorus Doping To Silicon Using Phosphorus-related Radicals
MRS Fall Meeting, 2011
A Novel Method for Low-Resistivity Metal-Interconnection by Using Metallic Functional Liquids and Catalytically Generated Hydrogen Atoms
MRS Fall Meeting, 2011
Why can Cat-CVD SiNx/a-Si Stacked Layers Realize Extremely LowSurface Recombination Velocity On Crystalline Silicon?
PVSEC'11, 2011
フラッシュランプアニールによる太陽電池用多結晶シリコン薄膜形成
日本真空協会 2011年11月研究例会「太陽電池における革新技術の開発動向と将来展望」, 2011
MAT-FPDへの応用を目指した有機基板への微細Siチップ埋め込み技術
平成23年度 応用物理学会北陸・信越支部 学術講演会, 2011
Cat-CVD法とN2プラズマを用いたガスバリア膜の作製
平成23年度 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会, 2011
FLAによるa-Si膜の横方向結晶化における大粒径結晶粒形成
第8回薄膜材料デバイス研究会, 2011
Formation of high-quality poly-Si films by flash lamp annealing
International topical workshop on Subsecond thermal processing of Advanced Materials (subtherm-2011), 2011
自然エネルギーの活用「太陽光発電の推進」〜そのメリットとデメリット〜
能美市「自然エネルギーを考える会」主催講演会, 2011
26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition 報告
電子情報技術産業協会 太陽電池技術分科会 (非公開), 2011
Flash-Lamp-Induced Explosive Crystallization of Amorphous Films Leaving Behind Periodic Microstructures
2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2011), 2011
Impact of Glass Substrates on the Properties of Solar Cells Fabricated Using Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films
The 26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (26th EU PVSEC), 2011
Extremely Low Surface Recombination Velocities Realized by Cat-CVD SiNx/a-Si Staked Films on (100) and (111) Crystalline Si Substrates
The 26th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (26th EU PVSEC), 2011
MAT-FPD;多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(6)
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
FLAによるa-Si膜の結晶化における横方向結晶化速度
2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会, 2011
多結晶シリコン光導電素子の活性層の薄膜化による周波数応答の向上
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
ラジカルを用いて低温ドーピングを行った結晶Siの表面観察
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
Cat-CVDガスバリア膜のバリア性への基板凹凸の影響
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
フォトレジストマスキング法のラジカルドーピングへの適用の試み
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
MAT-FPD;多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(7) -多数の集積回路間を高速で自己配線する手法
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
Cat-CVD法で製膜されたa-Si/c-Si界面の走査透過電子顕微鏡観察
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
Cat-CVD SiNx/a-Si/c-Si積層パッシベーションのSi基板面方位依存性
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
Cat-CVD法によるSiNx/a-Si積層膜がc-Siに対し 高パッシベーション特性を有する原因の究明
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
FLAにより形成したpoly-Si膜を用いた太陽電池のSuns-VOCによる評価
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
Cat-CVD SiON系バリア膜のGIG型磁気センサへの応用
2011年秋季 第72回応用物理学会学術講演会, 2011
Mechanism and Control of Crack Generation in Glass Substrates during Crystallization of a-Si Films by Flash Lamp Annealing
24th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 24), 2011
Reduction in the Defect Density of Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films by Conventional Furnace Annealing
24th International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 24), 2011
シリコン太陽電池の現状
太陽光発電関連産業群形成を目指した高度人材創出プログラム・太陽光発電基礎講座, 2011
シリコン太陽電池の作製プロセス
太陽光発電関連産業群形成を目指した高度人材創出プログラム・太陽光発電基礎講座, 2011
Frequency response of amorphous silicon photoconductors
16th Opto-Electronics and Communications Conference (OECC), 2011
触媒反応で生成されたラジカルを用いた不純物低温ドープ
日本学術振興会第175委員会 第8回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2011
Cat-CVD技術を用いた表面再結合速度1.5 cm/s 以下のパッシベーション
日本学術振興会第175委員会 第8回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2011
Liquid-phase Explosive Crystallization of Electron-beam-evaporated a-Si Films Induced by Flash Lamp Annealing
International Conference on Materials for Advanced Technologies 2011 (The 5th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology), 2011
Carrier Recombination Mechanisms in Solar Cells Fabricated Using Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films
The 37th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2011
HWCVD-6聴講報告
第8回Cat-CVD研究会, 2011
Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜がc-Siに対する高品質界面特性を有する原因の究明
第8回Cat-CVD研究会, 2011
Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜のSi(111)面に対する表面再結合抑制効果
第8回Cat-CVD研究会, 2011
リン酸ラジカルを用いた低温ドーピング
第8回Cat-CVD研究会, 2011
触媒分解により生成したラジカルを用いた結晶シリコンへの低温ドーピング
第8回Cat-CVD研究会, 2011
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の欠陥密度低減化
第8回Cat-CVD研究会, 2011
Cat-CVDを用いたガスバリア膜における基板凹凸の影響
第8回Cat-CVD研究会, 2011
Investigation of the passivation property of SiNx/Si-rich SiNx stacked layers on crystalline silicon wafers
第8回Cat-CVD研究会, 2011
Effect of H atoms generated by Cat-CVD system on silver nanoparticle growth*
第8回Cat-CVD研究会, 2011
瞬間結晶化による太陽電池用多結晶シリコン薄膜形成
日本化学会第91春季年会, 2011
アモルファスシリコンを熱処理した多結晶シリコン膜による光導電素子
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
FLAにより形成したpoly-Si膜を用いた太陽電池特性の基板依存性
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
FLAにより形成したpoly-Si膜の欠陥密度低減化
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
リン系ラジカルを用いたSiへの低温ドーピング
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
Cat-CVD SiNx/a-Si積層パッシベーションにおけるSiNx膜質の影響
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
Cat-CVD SiNx/a-Si積層膜のSi(111)面に対するパッシベーション効果
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
フラッシュランプアニールによる非晶質シリコン膜の結晶化とその太陽電池応用
2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会, 2011
フラッシュランプアニールによるガラス基板上への太陽電池用多結晶Si薄膜形成
第2回半導体デバイス若手ワークショップ, 2011
Cat-CVD法による大面積・高速製膜技術
超高速・大面積製膜プロセス(化学工業会反応工学部会 CVD反応分科会主催 ミニシンポジウム), 2010
フラッシュランプアニールによるa-Si 膜の横方向結晶化
第7回薄膜材料デバイス研究会, 2010
Polycrystalline Silicon Films with Nanometer-Sized Dense Fine Grains Formed by Flash-Lamp-Induced Crystallization
Asian Conference on Nanoscience & Nanotechnology (AsiaNANO 2010), 2010
最新のCVD技術 ― Cat-CVD技術の現状と新しい展開
第13回薄膜基礎講座, 2010
Microstructures of polycrystalline silicon films formed through explosive crystallization induced by flash lamp annealing
42nd International Conference on Solid State Devices andMaterials (SSDM 2010), 2010
常圧Cat-CVD装置開発のための基礎的検討
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010
MAT-FPD;多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(5)
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010
Cat-CVD シリコン窒化膜によるCMOS ISFET センサアレイを用いたイメージングおよびその応用
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010
アモルファスシリコンMSM型光導電素子の周波数特性
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010
FLAによるpoly-Si薄膜形成におけるガラス中の亀裂深さの評価
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010
FLAによるpoly-Si膜の欠陥終端化アニールを用いた太陽電池作製
第71回 応用物理学会学術講演会, 2010
Flash-lamp-crystallized polycrystalline silicon films with high hydrogen concentration formed from Cat-CVD a-Si films
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010
Advantage of plasma-less deposition in Cat-CVD to performance of electric devices
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010
Low resistivity metal lines formed by functional liquids and successive treatment of catalytically generated hydrogen atoms in Cat-CVD system
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010
Excellent passivation effect on Cat-CVD SiNx/a-Si stack films on Si substrates
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010
Extremely low recombination velocity on crystalline silicon surfaces realized by low-temperature impurity doping in Cat-CVD technology
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010
Catalytic decomposition of NH3 on heated Ru and W surfaces
6th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (HWCVD6), 2010
1.5 cm/s Surface Recombination Velocity Realized by Cat-CVD SiNx/i-a-Si Double Passivation Layers on Crystalline S
25th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (5th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion), 2010
Defect Termination of Flash-Lamp-Crystallized Polycrystalline Silicon Films by Undesorped Hydrogen Atoms
25th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition (5th World Conference on Photovoltaic Energy Conversion), 2010
Propagation Loss of Amorphous Silicon Optical Waveguides at the 0.8 μm-Wavelength Range
7th IEEE International Conference on Group IV Photonics (GFP2010), 2010
Cat-CVDを用いたc-Si上へのSiNx/a-Si積層パッシベーション
日本学術振興会第175委員会 第7回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2010
フラッシュランプアニールによるアモルファスシリコン薄膜の結晶化機構
日本学術振興会第175委員会 第7回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2010
Flash-lamp-induced Crystallization of amorphous silicon films in different explosive crystallization modes
Renewable Energy 2010, 2010
Carrier Transport Properties of Flash-Lamp-Crystallized Poly-Si Films
35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2010
Surface Treatment of Crystalline Silicon Realizing Extremely Low Surface Recombination Velocity Using Catalytically Generated Radicals
35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2010
触媒反応で生じたP系ラジ カルによるSi基板への低温ドーピング
第7回Cat-CVD研究会, 2010
Ru触媒体上でのアンモニアの分解によるH原子およ びNHラジカル生成機構
第7回Cat-CVD研究会, 2010
Influence of Hydrogen Exposure in a Hot-wire System on Morphology and Electrical Property of Silver Lines
第7回Cat-CVD研究会, 2010
Cat-CVDを用いたSiNx/a-Si積層膜によるc-Siのパッシベーション
第7回Cat-CVD研究会、浜松市, 2010
Study of High Gas Barrier Performance of Film with Coated SiOxNy Layers
53rd Society of Vacuum Coatings Annual Technical Conference, 2010
RuおよびW触媒体上でのアンモニアの分解によるラジカル発生機構
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
Cat-CVD SiNx/i-a-Si積層膜によるSi基板のパッシベーション効果
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
原子によるシリコンの表面クリーニングにおけるPH3添加の効果
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
フラッシュランプアニールによるpoly-Si薄膜形成における基板材料の影響
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si膜を用いた太陽電池での支配的な再結合過程の評価
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
a-Si TFTのSiNxゲート絶縁膜の熱処理による低欠陥化
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の電気特性の温度依存性
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
フラッシュランプアニールによるa-Si膜の横方向結晶化への前駆体構造の影響
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
波長0.8 μm帯におけるアモルファスシリコン光導波路の伝搬損失
2010年春季第57回応用物理学関係連合講演会, 2010
Cat-CVD Technology for nano-scale surface modification
2010 International Symposium on Atom-scale Silicon Hybrid Nanotechnologies for 'More-than-Moore' & 'Beyond CMOS' Era, 2010
Flash-lamp-crystallized Polycrystalline Silicon Films with Remarkably Long Minority Carrier Lifetimes
19th International Photovoltaic Science and Engineering Conference and Exhibition, 2009
Cat-CVD装置の太陽電池への応用
太陽電池の成膜技術・装置 徹底解説, 2009
Selection of Material for the Back Electrodes of Thin-FilmSolar Cells using Polycrystalline Silicon Films Formed byFlash Lamp Annealing
2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2009), 2009
Cat-CVD (Catalytic-CVD): Its Fundamentals and Application
EuroCVD-17 and CVD XVII, 2009
最新のCVD技術 - Cat-CVD技術の現状と新しい展開
第12回薄膜基礎講座(日本表面科学会主催)、, 2009
SUPERIOR POTETIAL OF FLASH-LAMP-CRYSTALLIZED POLY-SI FILMS FOR APPLICATION TO THIN -FILM POLY-SI SOLAR CELLS
24th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, 2009
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の電気的特性の評価
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の欠陥終端化法の改善
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009
MAT-FPD;多数の微細Si チップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(4)―多数の集積回路間を高速で自己配線する手法―
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009
MAT-FPD;多数の微細Si チップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(3)-画素位置に移載する微細チップの作成法-
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009
プラズマが与えるa-Si TFTの電気特性への影響
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009
Cat-CVD法によるPTFE膜を用いた衣類の撥水加工
2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会, 2009
Investigation of Cat-CVD Amorphous Silicon Film Properties under High Catalyzer Temperature
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2009
Polycrystalline Si Films with UniqueMicrostructures Formed from Amorphous SiFilms by Non-thermal Equilibrium Flash LampAnnealing
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2009
Advantage of Plasma-Less Deposition; Cat-CVD Fabrication of a-Si TFT with CurrentDrivability Equivalent to Poly-Si TFT
23rd International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2009
100 μsのキャリア寿命を有するフラッシュランプアニールによる形成されるガラス基板上多結晶シリコン薄膜
日本学術振興会第175委員会 第6回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム, 2009
太陽電池製造におけるCat-CVD法について
情報機構「太陽電池における成膜技術」セミナー, 2009
Cat-CVD法によるHMDSを用いたガスバリア膜の形成
第6回Cat-CVD研究会, 2009
Cat-CVD法により生成した水素原子によるSi表面クリーニング
第6回Cat-CVD研究会, 2009
Improvement in Electrical Conductivity of Silver Metal Lines by Exposure to Atomic Hydrogen Generated by Cat-CVD
第6回Cat-CVD研究会, 2009
Cat-CVD法によるPTFE膜を用いた衣類の撥水加工の研究
第6回Cat-CVD研究会, 2009
IMPROVED PERFORMANCE OF THIN-FILM SOLAR CELLS USINGSURFACE-MORPHOLOGY-CONTROLLED POLY-SI FILMS CRYSTALLIZED BY FLASH LAMP ANNEALING
34th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2009
MAT-FPD;多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(1)
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
フラッシュランプアニールによるa-Siの結晶化における不純物ドープの影響
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
フラッシュランプアニールにより形成したpoly-Si薄膜の表面凹凸制御
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
触媒反応を用いて生成したH原子によるSi表面のin-situクリーニング
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
MAT-FPD;多数の微細Siチップが画素制御する超大型フレキシブルディスプレイ(2)―微細Siチップ間の高速金属配線技術―
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
Cat-CVDシリコン窒化膜のCMOS ISFET センサアレイへの応用
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
Cat-CVD法によりHMDSを用いて作製したSiOxNyガスバリヤ膜特性のO2流量依存性
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
Cat-CVD法によるPTFE膜を用いた衣類の撥水加工
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 2009
a-Si TFTs with current drivability equivalent to poly-Si TFTs
International Thin Film Transistor Conference 2009 (ITC'09), 2009
Application of Silicon Nitride by Catalytic Chemical Vapor Deposition (Cat-CVD) to CMOS ISFET Sensor LSI
Fifth International Conference on Molecular Electronics and Bioelectronics, 2009
Cat-CVD法によるa-Si:H薄膜の作製技術と瞬間熱処理による高品質多結晶Si薄膜形成
技術情報協会『太陽電池』総合技術セミナー, 2009
Drastic Reduction in Optical Reflectance of Flash-Lamp-Crystallized Poly-Si Films by Conventional Wet Etching
8th Internatonal Photovoltaic Science and Engineering Conference & Exhibition, 2009
Cat-CVD Technology and Its Application to Solar Cells
International Symposium on Solar Cell Technologies (ISSCT) 2008, 2008
The Studies of Cat-CVD Amorphous Silicon (a-Si) Film Properties under High Catalyzer Temperature
International Symposium on Solar Cell Technologies (ISSCT) 2008, 2008
Cat-CVD超撥水PTFE薄膜の作製
表面技術協会 材料機能ドライプロセス部会 第76回例会, 2008
Cat-CVD法によるHMDSを用いたSiNx系ガスバリア膜の組成評価
第69回応用物理学会学術講演会, 2008
フラッシュランプアニールによるa-Si膜の結晶化におけるプレヒートおよびパルス時間の影響
第69回応用物理学会学術講演会, 2008
フラッシュランプアニールにより形成した薄膜poly-Siヘテロ接合太陽電池
第69回応用物理学会学術講演会, 2008
加熱触媒体を用いた短時間熱処理によるSiNx薄膜の高品質化
第69回応用物理学会学術講演会, 2008
PECVD法とCat-CVD法により作製した薄膜トランジスタの特性比較
第69回応用物理学会学術講演会, 2008
Cat-CVD a-Si,SiNx膜を用いた裏面電極へテロ接合太陽電池の作製
第69回応用物理学会学術講演会, 2008